Филимонова Н.И., Величко А.А., Фадеева Н.Е. Методы электронной микроскопии

Новосибирск : СибГУТИ, 2016. - 61 с. Учебное пособие «Методы электронной микроскопии» содержит подробное описание физических основ и экспериментальных методов электронной микроскопии определения физических и структурных свойств материалов. Рассматриваются вопросы применения данных методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», профиль «Интегральная электроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы диагностики и анализа микро и наноструктур».