Филимонова Н.И., Величко А.А., Фадеева Н.Е. Методы электронной спектроскопии

Новосибирск : СибГУТИ, 2016. - 66 с. Учебное пособие «Методы электронной спектроскопии» содержит подробное описание физических основ и экспериментальных методов определения физических и структурных свойств материалов методами электронной спектроскопии. Рассматриваются вопросы применения данных методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», профиль «Интегральная электроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы диагностики и анализа микро и наноструктур»