Монография — М.: Металлургия, 1977, 240 с. — 600dpi, чёрно-белый,
OCR
Рассмотрены принципиальные отличия явления распада в
полупроводниках от распада в металлах. Показано возникновение в
полупроводниках качественно новых закономерностей — ускорение
распада, появление дополнительных кинетических стадий и др.
Развит квазихимический подход для описания процессов взаимодействия
примесных атомов с дефектами и анализа кинетических кривых
распада.
Подробно рассмотрены экспериментальные методы исследования распада
и приведены результаты изучения распада твердых растворов примесей
в германии, кремнии и арсениде галлия.
Книга предназначена для научных работников и инженеров,
специализирующихся в материаловедении полупроводников,
металловедении, физике твердого тела, а также в смежных областях,
использующих полупроводниковые материалы. Может быть полезной
студентам и аспирантам вузов при изучении процессов термической
обработки металлов и полупроводников.
Содержание
Термодинамика растворов полупроводник — примесь
— Предварительные замечания
— Жидкие растворы полупроводник — примесь
— Твердые растворы замещения полупроводник — примесь
— Твердые растворы внедрения
Строение полупроводниковых твердых растворов
— Типы дефектов кристаллической решетки полупроводников
— Электронные дефекты
— Собственные дефекты
— Дислокации
— Взаимодействие дефектов в полупроводниках
— Ионные пары
— Сложные ассоциированные дефекты (политроиии примесей)
Теоретические представления о распаде полупроводниковых твердых
растворов
— Термодинамическая трактовка явления распада твердого раствора
— Модельные представления процесса выделения примесей из твердого
раствора
— Феноменологическая теория кинетики распада твердого раствора
— Микроскопическая теория кинетики распада полупроводниковых
твердых растворов
Методы исследования распада полупроводниковых твердых растворов
— Регистрация примесных выделении по измерениям концентрации
носителей заряда
— Определение зарядности примесных выделений по явлениям переноса
носителей заряда
— Рекомбинационные методы исследования
— Магнитные методы исследования
— Фононные методы исследования
— Внутреннее трение в полупроводникаx
— Металлографические методы исследования выделений в
полупроводниках
— Рентгеноструктурные методы
— Методы исследования кинетики распада
Распад твердых растворов германий — примесь
— Германий — мышьяк
— Германий — фосфор
— Германий — литий
— Германий — медь
— Германий — никель
Распад твердых растворов кремний — примесь
— Кремний — мышьяк
— Кремний — фосфор
— Кремний — сурьма
— Кремний — литий
— Кремний — кислород
— Кремний — медь
— Кремний — золото
Распад твердых растворов арсенид галлия — примесь
— Арсенид галлия — теллур
— Арсенид галлия — медь
— Арсенид галлия — литий
— Арсенид галлия — олово
Фистуль В.И. Распад пересыщенных полупроводниковых твердых растворов
