Учебное пособие. — СПб., СПбГУ, 2010. — 71 с.
Пособие содержит теоретические основы сканирующей зондовой
микроскопии и физические принципы атомно-силовой и туннельной
микроскопии. Приводится описание лабораторного стенда на основе
сканирующего мультимикроскопа СММ 2000 и лабораторных работ с
последующей обработкой полученных результатов. Приобретенные в ходе
выполнения работ навыки позволят студентам в дальнейшем
самостоятельно работать на подобном оборудовании при выполнении
научно-исследовательских работ.
Предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки магистров "Техническая физика". Может быть использовано по направлению "Электроника и микроэлектроника.
Предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки магистров "Техническая физика". Может быть использовано по направлению "Электроника и микроэлектроника.