Галузо В.Е. и др. Проектирование интегральных микросхем. Лабораторный практикум

Пособие. — Минск: БГУИР, 2012. — 52 с. Приводится описание четырех лабораторных работ, посвященных моделированию элементов и технологических операций производства полупроводниковых микросхем. Содержатся теоретические сведения и практические рекомендации по их выполнению. В каждой работе проводятся теоретические исследования с использованием программ компьютерного моделирования. Моделирование диффузионного легирования и термического окисления кремния.
Моделирование ионного легирования.
Моделирование интегрального биполярного транзистора.
Моделирование интегральных полевых транзисторов.