Издательство стандартов, 1985. Настоящий стандарт устанавливает
общие требования к методам анализа полупроводникового кремния,
исходных продуктов для его получения ( технический кремний,
четыреххлористый кремний, хлорсиланы, двуокись кремния) и
кварца.
(Срок действия с 1986-01-01 по 1991-01-01)
(Срок действия с 1986-01-01 по 1991-01-01)