Громов В.К. Введение в эллипсометрию

Учебное пособие. — Л.: Издательство ЛГУ, 1986. — 190 с. В учебном пособии изложены основы эллипсометрии - прецизионного оптического метода исследования физико-химических процессов на поверхности твердых тел. Пособие предназначено для студентов старших курсов и аспирантов, специализирующихся в области физики и химии поверхности, микроэлектроники и оптики тонких покрытий.