Современное состояние исследований и технические применения.
Т.3.
Под ред. Хасса Г. и Туна Р.Э., пер. с англ. - Москва: Мир, 1968. - 331 с. Книга представляет собой третий том периодического издания "Физика тонких пленок".
Книга состоит из шести обзорных статей, в которых отражено современное состояние исследований в области тонких пленок. Статьи написаны известными американскими и английскими специалистами.
Четыре статьи посвящены актуальным методическим проблемам получения пленок с заданными свойствами. В них рассматриваются следующие вопросы: управляемое нанесение пленок, получение покрытий методами катодного распыления, нанесение диэлектрических пленок из газовой фазы, методы активации и рекристаллизации пленок соединений АIIIВV.
В двух последних статьях описаны механические свойства пленок и свойства пленок солей свинца, на основе которых изготовляются детекторы ИК-излучения.
Книга рассчитана на широкий круг лиц, интересующихся вопросами физики тонких пленок, а также проблемами технологии их получения и методами исследования. Она представляет несомненный интерес для специалистов (научных работников и инженеров), работающих в области тонкопленочной электроники и в ряде других близких областей (полупроводниковая электроника, вакуумная техника, оптика и т. д.).
Под ред. Хасса Г. и Туна Р.Э., пер. с англ. - Москва: Мир, 1968. - 331 с. Книга представляет собой третий том периодического издания "Физика тонких пленок".
Книга состоит из шести обзорных статей, в которых отражено современное состояние исследований в области тонких пленок. Статьи написаны известными американскими и английскими специалистами.
Четыре статьи посвящены актуальным методическим проблемам получения пленок с заданными свойствами. В них рассматриваются следующие вопросы: управляемое нанесение пленок, получение покрытий методами катодного распыления, нанесение диэлектрических пленок из газовой фазы, методы активации и рекристаллизации пленок соединений АIIIВV.
В двух последних статьях описаны механические свойства пленок и свойства пленок солей свинца, на основе которых изготовляются детекторы ИК-излучения.
Книга рассчитана на широкий круг лиц, интересующихся вопросами физики тонких пленок, а также проблемами технологии их получения и методами исследования. Она представляет несомненный интерес для специалистов (научных работников и инженеров), работающих в области тонкопленочной электроники и в ряде других близких областей (полупроводниковая электроника, вакуумная техника, оптика и т. д.).