Автореферат диссертации на соискание ученой
степени доктора технических наук. Работа выполнена в
Санкт-Петербургском государственном университете информационных
технологий, механики и оптики. Санкт-Петербург – 2010, 53 с.
Специальность – 05 11 07 Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы Цель работы состояла в разработке теоретических и методических основ эллипсометрии неоднородных анизотропных оптических систем и шероховатой поверхности неоднородной подложки и исследовании кинетики и физико–химических механизмов формирования неоднородной структуры поверхностных слоев элементов оптотехники методами эллипсометрии и спектро-метрии.
Для достижения указанной цели в диссертации решались следующие основные задачи:
– разработка методологического подхода к решению задачи отражения поляризованного света от неоднородных анизотропных слоев и шероховатых поверхностей элементов оптотехники;
– разработка методов физико–математического моделирования структуры неоднородных анизотропных оптических систем и шероховатой поверхности элементов оптотехники и расчета их поляризационно–оптических характеристик;
– изучение основных закономерностей изменения состояния поляризации отраженного светового пучка от неоднородных поверхностных слоев и шероховатых поверхностей в эллипсометрическом эксперименте;
– разработка методик эллипсометрического анализа поляризационно–оптических свойств отражающих систем неоднородный слой – неоднородная подложка и шероховатая поверхность – неоднородная подложка и расчета их оптических характеристик;
– развитие, на основе полученных экспериментальных данных методами эллипсометрии и спектрометрии, существующих представлений о кинетике и физико–химических механизмах формирования модифицированной структуры поверхностного слоя элементов оптотехники, выполненных из силикатных стёкол и кристаллов, при различных внешних воздействиях окружающей среды и способах их технологической обработки
Специальность – 05 11 07 Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы Цель работы состояла в разработке теоретических и методических основ эллипсометрии неоднородных анизотропных оптических систем и шероховатой поверхности неоднородной подложки и исследовании кинетики и физико–химических механизмов формирования неоднородной структуры поверхностных слоев элементов оптотехники методами эллипсометрии и спектро-метрии.
Для достижения указанной цели в диссертации решались следующие основные задачи:
– разработка методологического подхода к решению задачи отражения поляризованного света от неоднородных анизотропных слоев и шероховатых поверхностей элементов оптотехники;
– разработка методов физико–математического моделирования структуры неоднородных анизотропных оптических систем и шероховатой поверхности элементов оптотехники и расчета их поляризационно–оптических характеристик;
– изучение основных закономерностей изменения состояния поляризации отраженного светового пучка от неоднородных поверхностных слоев и шероховатых поверхностей в эллипсометрическом эксперименте;
– разработка методик эллипсометрического анализа поляризационно–оптических свойств отражающих систем неоднородный слой – неоднородная подложка и шероховатая поверхность – неоднородная подложка и расчета их оптических характеристик;
– развитие, на основе полученных экспериментальных данных методами эллипсометрии и спектрометрии, существующих представлений о кинетике и физико–химических механизмах формирования модифицированной структуры поверхностного слоя элементов оптотехники, выполненных из силикатных стёкол и кристаллов, при различных внешних воздействиях окружающей среды и способах их технологической обработки