Учебник. 3-е изд., стер. — СПб.: Издательство «Лань», 2008. — 384 с.: ил. — (Учебники для вузов. Специальная литература). В учебнике изложены основные направления развития микроэлектроники: рассмотрены физические основы, конструкция, технология, структурные элементы и аспекты проектирования интегральных микросхем (ИМС) и больших интегральных схем (БИС). Рассмотрены отдельные технологические процессы, схемотехнические решения, машинные методы прое...