Методические указания к лаб. работе. — Самара: Изд-во Самар, гос.
аэрокосм, ун-та. 2008. — 23 с.
В методических указаниях рассматриваются физические основы методов
формирования технологически чистой поверхности, приводятся
механизмы взаимодействия частиц плазмы с молекулами и атомами
загрязнений на поверхности подложки, описания традиционного
оборудования, используемого в ионно-плазменных технологиях,
методики измерения чистоты подложек оптических материалов и
ионно-плазменного травления органических загрязнений на их
поверхности.
Работа выполнена на кафедре «Техническая кибернетика», предназначена для студентов магистерской подготовки по направлению 010600.68 «Прикладные математика и физика», магистерская программа «Оптические информационные технологии» и является частью цикла работ по курсу «Автоматизированные технологии дифракционной оптики».
Работа выполнена на кафедре «Техническая кибернетика», предназначена для студентов магистерской подготовки по направлению 010600.68 «Прикладные математика и физика», магистерская программа «Оптические информационные технологии» и является частью цикла работ по курсу «Автоматизированные технологии дифракционной оптики».