Концевой Ю.А., Кудин В.Д. Методы контроля технологии производства полупроводниковых приборов

Москва: Энергия, 1973. — 144 с.: ил. В книге описываются электрические, оптические, рентгеновские и электронномикроскопические методы контроля технологии изготовления полупроводниковых приборов. Рассматриваются принципы организации технологического контроля при разработках и в производстве приборов.
Книга рассчитана на инженеров и технологов, занимающихся разработкой и производством полупроводниковых приборов и интегральных схем, а также на студентов, специализирующихся в области физики и технологии полупроводниковых приборов.