Учебное пособие. – СПб: Университет ИТМО, 2016. – 113 с.
Приведены результаты исследования влияния дискретности
синтезированных и цифровых голограмм на их изображающие свойства.
Установлены требования, предъявляемые к соотношениям между
параметрами синтеза, или регистрации дискретной голограммы.
Рассмотрены основные методы компьютерного синтеза
голограмм-проекторов Френеля и голограмм сфокусированного
изображения, приведено описание программного комплекса,
предназначенного для осуществления операции синтеза
голограмм-проекторов.
Пособие предназначено научным работникам, преподавателям и студентам, обучающимся по направлениям подготовки 12.04.02 «Оптотехника» (профиль подготовки «Компьютерная оптика») и 01.04.02 «Прикладная математика и информатика». Содержание
Введение
Изображающие свойства дискретных голограмм
Влияние дискретности голограммы на восстановленное с ее помощью изображение
Влияние модификации структуры голограммы и высокой, превышающей частоту Найквиста, несущей пространственной частоты голограммной структуры на восстановленное изображение
Экспериментальное подтверждение возможности безаберрационного восстановления дискретных синтезированных голограмм при углах падения восстанавливающей волны, отличных от углов падения опорной волны при синтезе голограммы
Влияние метода представления объекта на изображающие свойства синтезированных голограмм
Метод представления объекта, основанный на пространственно-частотном анализе дискретной голограммы
Метод представления объекта, основанный на критерии разрешения Рэлея
Влияние нелинейности синтезированных голограмм на их изображающие свойства
Анализ влияния метода штамповки на зависимость интенсивности восстановленного изображения от размера исходного объекта
Экспериментальное исследование возможности обеспечения равной интенсивности в восстановленных изображениях разновеликих объектов путем подбора соответствующего уровня бинаризации синтезированных голограмм-проекторов
Методы компьютерного синтеза голограмм-проекторов
Разработка моделей процессов синтеза и восстановления голограмм-проекторов и создание специализированного программного комплекса для их реализации
Программный комплекс для синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов
Метод синтеза голограмм-проекторов, основанный на разбиении объекта на типовые элементы его структуры
Программный комплекс синтеза и восстановления голограмм-проекторов, реализующий метод синтеза голограмм, основанный на разбиении объекта на типовые элементы его структуры
Проверка работоспособности разработанных метода синтеза голограмм и программного комплекса
Экспериментальное исследование влияния условий освещения объекта и параметров синтеза голограмм-проекторов на качество восстанавливаемого с их помощью изображения
Влияние учитываемой апертуры дифрагированного на объекте излучения на качество изображения, восстановленного с помощью голограммы-проектора Френеля
Влияние диффузной подсветки объекта на качество изображения, восстановленного с помощью голограммы-проектора Френеля
Синтез голограмм-проекторов для фотолитографии на неплоских поверхностях
Метод синтеза голограмм-проекторов Френеля для фотолитографии на неплоских поверхностях
бина резкости
Влияние особенностей структуры голограмм-проекторов на глубину резкости восстанавливаемого изображения
Демонстрация пригодности синтезированных голограмм-проекторов для формирования изображения на неплоских поверхностях
Метод синтеза голограмм-проекторов сфокусированного изображения и программный комплекс на его основе
Влияние проекционного объектива на выбор периодов дискретизации фотошаблона, входного и выходного зрачков оптической системы и голограммы
Метод синтеза голограммы-проектора сфокусированного изображения на основе составления таблицы соответствия
Программный комплекс синтеза и цифрового восстановления СГСИ
Сравнительный анализ методов проекционной голографической фотолитографии, основанных на голограммах-проекторах Френеля и сфокусированного изображения
Коррекционные возможности голограмм-проекторов сфокусированного изображения
Экспериментальное определение допустимых отклонений геометрических параметров схемы восстановления голограмм-проекторов от параметров схемы их синтеза
Определение коэффициента коррекции аберраций оптической системы голограммой-проектором сфокусированного изображения
Мировой опыт создания высокоразрешающих проекционных систем с рельефно-фазовыми синтезированными голограммами-проекторами для субмикронной и нанофотолитографии
Литература
Пособие предназначено научным работникам, преподавателям и студентам, обучающимся по направлениям подготовки 12.04.02 «Оптотехника» (профиль подготовки «Компьютерная оптика») и 01.04.02 «Прикладная математика и информатика». Содержание
Введение
Изображающие свойства дискретных голограмм
Влияние дискретности голограммы на восстановленное с ее помощью изображение
Влияние модификации структуры голограммы и высокой, превышающей частоту Найквиста, несущей пространственной частоты голограммной структуры на восстановленное изображение
Экспериментальное подтверждение возможности безаберрационного восстановления дискретных синтезированных голограмм при углах падения восстанавливающей волны, отличных от углов падения опорной волны при синтезе голограммы
Влияние метода представления объекта на изображающие свойства синтезированных голограмм
Метод представления объекта, основанный на пространственно-частотном анализе дискретной голограммы
Метод представления объекта, основанный на критерии разрешения Рэлея
Влияние нелинейности синтезированных голограмм на их изображающие свойства
Анализ влияния метода штамповки на зависимость интенсивности восстановленного изображения от размера исходного объекта
Экспериментальное исследование возможности обеспечения равной интенсивности в восстановленных изображениях разновеликих объектов путем подбора соответствующего уровня бинаризации синтезированных голограмм-проекторов
Методы компьютерного синтеза голограмм-проекторов
Разработка моделей процессов синтеза и восстановления голограмм-проекторов и создание специализированного программного комплекса для их реализации
Программный комплекс для синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов
Метод синтеза голограмм-проекторов, основанный на разбиении объекта на типовые элементы его структуры
Программный комплекс синтеза и восстановления голограмм-проекторов, реализующий метод синтеза голограмм, основанный на разбиении объекта на типовые элементы его структуры
Проверка работоспособности разработанных метода синтеза голограмм и программного комплекса
Экспериментальное исследование влияния условий освещения объекта и параметров синтеза голограмм-проекторов на качество восстанавливаемого с их помощью изображения
Влияние учитываемой апертуры дифрагированного на объекте излучения на качество изображения, восстановленного с помощью голограммы-проектора Френеля
Влияние диффузной подсветки объекта на качество изображения, восстановленного с помощью голограммы-проектора Френеля
Синтез голограмм-проекторов для фотолитографии на неплоских поверхностях
Метод синтеза голограмм-проекторов Френеля для фотолитографии на неплоских поверхностях
бина резкости
Влияние особенностей структуры голограмм-проекторов на глубину резкости восстанавливаемого изображения
Демонстрация пригодности синтезированных голограмм-проекторов для формирования изображения на неплоских поверхностях
Метод синтеза голограмм-проекторов сфокусированного изображения и программный комплекс на его основе
Влияние проекционного объектива на выбор периодов дискретизации фотошаблона, входного и выходного зрачков оптической системы и голограммы
Метод синтеза голограммы-проектора сфокусированного изображения на основе составления таблицы соответствия
Программный комплекс синтеза и цифрового восстановления СГСИ
Сравнительный анализ методов проекционной голографической фотолитографии, основанных на голограммах-проекторах Френеля и сфокусированного изображения
Коррекционные возможности голограмм-проекторов сфокусированного изображения
Экспериментальное определение допустимых отклонений геометрических параметров схемы восстановления голограмм-проекторов от параметров схемы их синтеза
Определение коэффициента коррекции аберраций оптической системы голограммой-проектором сфокусированного изображения
Мировой опыт создания высокоразрешающих проекционных систем с рельефно-фазовыми синтезированными голограммами-проекторами для субмикронной и нанофотолитографии
Литература