Костюк А.Б. и др. Физические основы ионно-лучевой модификации металлических нанокластеров в диэлектрических слоях

Учебно-методическое пособие. – Нижний Новгород: Нижегородский госуниверситет, 2011, 40 с. В пособии проанализированы и обобщены результаты современных исследований, посвященных изучению модификации свойств металлических наночастиц, окруженных диэлектрической матрицей, методом ионной имплантации, которая обладает известными достоинствами: низкотемпературность процесса, строгая дозировка воздействия путем задания энергии и дозы ионов, отсутствие химических ограничений при выборе элементного состава ионного пучка, возможность локализации (в трех измерениях) модифицированной области, а также
стимуляции физических и химических процессов, и, особенно, совместимость метода с традиционной технологией микроэлектроники.
Данное пособие предназначено для студентов старших курсов, специализирующихся по направлению 011200 – Физика, студентов магистратуры и аспирантов, слушающих курсы в области физики низкоразмерных твердотельных структур и ведущих исследования в
соответствующей области.