Изд-во «Металлургия» 1970 г. 432 с. Илл.143 Табл. 12 Библ. 432
назв.
В книге приведены методы исследования основных физических свойств полупроводников и методы контроля качества полупроводниковых материалов. Рассмотрены физические основы методов измерений, а также вопросы их экспериментального осуществления. Подробно описаны различные способы измерения удельного сопротивления, концентрации и подвижности носителей заряда, методы исследования параметров неравновесных носителей заряда в полупроводниках, а также методы исследования поверхностных свойств полупроводников. Уделено внимание методам контроля качества слитков, пластин, полупроводников, полученных в виде монокристаллов или поликристаллов. Особый раздел посвящен методам исследования полупроводниковых эпитаксиальных пленок.
В книге приведены методы исследования основных физических свойств полупроводников и методы контроля качества полупроводниковых материалов. Рассмотрены физические основы методов измерений, а также вопросы их экспериментального осуществления. Подробно описаны различные способы измерения удельного сопротивления, концентрации и подвижности носителей заряда, методы исследования параметров неравновесных носителей заряда в полупроводниках, а также методы исследования поверхностных свойств полупроводников. Уделено внимание методам контроля качества слитков, пластин, полупроводников, полученных в виде монокристаллов или поликристаллов. Особый раздел посвящен методам исследования полупроводниковых эпитаксиальных пленок.