Учебное пособие. - М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 176 с.
Методические материалы по дисциплине «Методы литографии в наноинженерии» содержат ее нормативную базу, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы, необходимые для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине.
Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будут полезны всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения. Содержание
Предисловие
Список сокращений
Введение
Конспект лекций
Современное состояние и тенденции развития технологических операций проекционной литографии при производстве КМОП СБИС
Используемые материалы и применяемое литографическое оборудование при производстве КМОП СБИС с наноразмерными элементами
Нанесение резиста на поверхность кремниевой пластины
Формирование в пленке резиста скрытого изображения (экспонирование) посредством проекционной оптики и его ключевые физические ограничения в части разрешающей способности
Основные физико-химические характеристики ДХН-новолачных I-line-резистов
Способы повышения разрешающей способности процесса проекционной литографии
Критерии оценки качества процесса проекционной литографии
Современные системы компьютерного (TCAD) моделирования литографических процессов и тенденции их развития
Методические рекомендации
Нормативная документация по дисциплине
Структура и состав фондов оценочных средств по дисциплине
Спецификация учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, эскизов плакатов и других дидактических материалов
Заключение
Литература
Методические материалы по дисциплине «Методы литографии в наноинженерии» содержат ее нормативную базу, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы, необходимые для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине.
Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будут полезны всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения. Содержание
Предисловие
Список сокращений
Введение
Конспект лекций
Современное состояние и тенденции развития технологических операций проекционной литографии при производстве КМОП СБИС
Используемые материалы и применяемое литографическое оборудование при производстве КМОП СБИС с наноразмерными элементами
Нанесение резиста на поверхность кремниевой пластины
Формирование в пленке резиста скрытого изображения (экспонирование) посредством проекционной оптики и его ключевые физические ограничения в части разрешающей способности
Основные физико-химические характеристики ДХН-новолачных I-line-резистов
Способы повышения разрешающей способности процесса проекционной литографии
Критерии оценки качества процесса проекционной литографии
Современные системы компьютерного (TCAD) моделирования литографических процессов и тенденции их развития
Методические рекомендации
Нормативная документация по дисциплине
Структура и состав фондов оценочных средств по дисциплине
Спецификация учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, эскизов плакатов и других дидактических материалов
Заключение
Литература