Химия и химическая промышленность
Справочник
  • формат djvu
  • размер 14,02 МБ
  • добавлен 01 декабря 2015 г.
Майссел Л, Гленг Р. (ред.). Технология тонких плёнок. Том 1. Справочник
Нью-Йорк. 1970. Пер. с англ. Под ред. М.И. Елинсона, Г.Г. Смолко. — М.: Сов. радио, 1977. — 664 с.
Справочник по технологии тонких плёнок - наиболее современное и фундаментальное издание, посвящённое тонким плёнкам твёрдых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. В этот том включены главы 1-7
Читатель найдёт тут исчерпывающие справочные данные по различным методам получения твёрдых плёнок (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки, методы получения плёнок путём ионного распыления)