2-е изд. перераб. и доп. — Учебное пособие для подготовки рабочих.
— М.: Металлургия, 1989. — 272 с.: ил.
Изложены краткие сведения об основных материалах современной
электроники, строении и росте монокристаллов. Описаны базовые
положения физики полупроводников, свойства и марки монокристаллов
важнейших полупроводников. Приведены данные об основных и
вспомогательных материалах полупроводникового производства,
процессах и технологии поли- и монокристаллических полупроводников.
Рассмотрены также вопросы охраны труда и техники безопасности в
производстве монокристаллов полупроводников. Второе издание (первое
вышло в свет в 1982 г.) дополнено сведениями о переработке отходов
производства полупроводниковых материалов, о методах контроля
электрофизических параметров и структуры монокристаллов
полупроводников.
Учебное пособие предназначено для подготовки рабочих и мастеров на производстве и может быть полезно учащимся СПТУ. Предисловие.
Общие сведения о полупроводниках.
Полупроводниковая электроника и ее основные материалы.
Диаграммы состояния полупроводниковых систем.
Строение кристаллов и их дефекты.
Рост кристаллов.
Основные положения физики полупроводников.
Свойства и марки важнейших полупроводников.
Материалы полупроводникового производства.
Чистое вещество.
Основные и вспомогательные материалы.
Процессы технологии пол и кристаллических полупроводников.
Получение поликристаллических полупроводников.
Технологические основы получения монокристаллов.
Расчеты легирования.
Компоновка.
Получение однородно легированных монокристаллов.
Получение монокристаллов с совершенной структурой.
Получение высокочистых монокристаллов.
Аппаратура для выращивания монокристаллов.
Контроль качества монокристаллов полупроводниковых материалов.
Методы контроля электрических параметров.
Методы контроля концентрации оптически активных кислорода и углерода в кремнии.
Методы контроля структурных параметров.
Некоторые вопросы охраны труда и техники безопасности при производстве полупроводниковых материалов.
Общие положения охраны труда.
Защита от вредных (ядовитых) веществ.
Защита от электрического тока.
Правила безопасной работы с газами.
Рекомендательный библиографический список.
Учебное пособие предназначено для подготовки рабочих и мастеров на производстве и может быть полезно учащимся СПТУ. Предисловие.
Общие сведения о полупроводниках.
Полупроводниковая электроника и ее основные материалы.
Диаграммы состояния полупроводниковых систем.
Строение кристаллов и их дефекты.
Рост кристаллов.
Основные положения физики полупроводников.
Свойства и марки важнейших полупроводников.
Материалы полупроводникового производства.
Чистое вещество.
Основные и вспомогательные материалы.
Процессы технологии пол и кристаллических полупроводников.
Получение поликристаллических полупроводников.
Технологические основы получения монокристаллов.
Расчеты легирования.
Компоновка.
Получение однородно легированных монокристаллов.
Получение монокристаллов с совершенной структурой.
Получение высокочистых монокристаллов.
Аппаратура для выращивания монокристаллов.
Контроль качества монокристаллов полупроводниковых материалов.
Методы контроля электрических параметров.
Методы контроля концентрации оптически активных кислорода и углерода в кремнии.
Методы контроля структурных параметров.
Некоторые вопросы охраны труда и техники безопасности при производстве полупроводниковых материалов.
Общие положения охраны труда.
Защита от вредных (ядовитых) веществ.
Защита от электрического тока.
Правила безопасной работы с газами.
Рекомендательный библиографический список.