Учебное пособие для техникумов. — М.: Металлургия, 1993. — 368 с.:
ил.
Изложены краткие сведения о свойствах основных материалов
электронной техники: токопроводящих, диэлектриков, диффузантов и
др. Главное внимание уделено спецматериалам электронной техники -
полупроводникам. Рассмотрены методы подготовки основных и
вспомогательных материалов полупроводникового производства,
технология поли- и объемных монокристаллов, пластин и подложек,
эпитаксиальных гомо- и гетероструктур, а также методы контроля
параметров полупроводниковой продукции. Предназначена в качестве
учебного пособия для учащихся техникумов, обучающихся по
специальности "Технология материалов электронной техники".
Предисловие.
Материалы электронной техники.
Подготовка основных и вспомогательных материалов.
Технология поликристаллических полупроводников.
Технология объемных монокристаллов полупроводников.
Технология подложек.
Технология эпитаксиальных структур.
Контроль качества полупроводниковых материалов.
Рекомендательный библиографический список.
Приложение.
Последние разработки в области расчета распределения примеси по длине кристалла, выращиваемого методом
направленной кристаллизации расплава.
Материалы электронной техники.
Подготовка основных и вспомогательных материалов.
Технология поликристаллических полупроводников.
Технология объемных монокристаллов полупроводников.
Технология подложек.
Технология эпитаксиальных структур.
Контроль качества полупроводниковых материалов.
Рекомендательный библиографический список.
Приложение.
Последние разработки в области расчета распределения примеси по длине кристалла, выращиваемого методом
направленной кристаллизации расплава.