Методические указания к выполнению лабораторных работ (программа
магистерской подготовки по направлению «Электроника и
наноэлектроника»).– М.: из-во МИЭТ, 2011. - 77 стр.
Руководство содержит описание четырёх лабораторных работ по
технологии обработки изделий микро- и наноэлектроники различного
вида излучениями. В описании к первой лабораторной работе
приводятся теория и технология лазерных методов обработки на
установке LIMO 100-532/1064-U и на установке быстрой термической
обработки STE-ThA 49LC. Во второй лабораторной работе
рассматриваются теория и технология обработки изделий
микроэлектроники плазменными методами на установках STE ICPd81и STE
ICPe
68. В третьей и четвертой лабораторных работах рассматривается теория и практика исследований наноструктурированных материалов методами растровой электронной микроскопии и фокусированных ионных пучков на установке Nova NanoLab 600 использованием удаленного доступа к высокотехнологичному аналитическому оборудованию в интерактивном учебно-научном комплексе «Исследование наноматериалов». Практическая часть лабораторных работ выполняется в виде научно- исследовательской работы, рассчитанной на 16 ч аудиторного времени. В работах дано подробное описание используемого технологического и измерительного оборудования и порядок работы на нём.
68. В третьей и четвертой лабораторных работах рассматривается теория и практика исследований наноструктурированных материалов методами растровой электронной микроскопии и фокусированных ионных пучков на установке Nova NanoLab 600 использованием удаленного доступа к высокотехнологичному аналитическому оборудованию в интерактивном учебно-научном комплексе «Исследование наноматериалов». Практическая часть лабораторных работ выполняется в виде научно- исследовательской работы, рассчитанной на 16 ч аудиторного времени. В работах дано подробное описание используемого технологического и измерительного оборудования и порядок работы на нём.