Нестеров С.Б., Васильев Ю.К., Андросов А.В. Методы расчета вакуумных систем

2009 г. - 6 с.: ил. В обзоре рассмотрено современное состояние и тенденции развития безмасляных вакуумных насосов: форвакуумных (когтевых, винтовых, многоступенчатых насосов Рутса) и высоковакуумных (турбомолекулярных, криогенных и магниторазрядных). Отмечается, что применение безмасляных средств откачки позволяет добиться более высокого уровня качества продукции в ряде отраслей промышленности, в частности, в микроэлектронике. Рассматриваются осо...

В книге описаны теоретические основы кинетической теории газов, даны характеристики существовавших на тет год вакуумных насосов и систем откачки, приведены практические формулы расчета вакуумных систем, систем напуска. А так-же книга является неплохим справочником по вакуумной технике

В книге описаны теоретические основы кинетической теории газов, даны характеристики существовавших на тет год вакуумных насосов и систем откачки, приведены практические формулы расчета вакуумных систем, систем напуска. А так-же книга является неплохим справочником по вакуумной технике

М.: Энергия, 1969. - 272 с.: ил. Пер. с англ. Н. Б. Шпаро и А. М. Ямпольского. Под общей редакцией Р. А. Нилендера. Аннотация издательства: На современном научном уровне излагаются основы техники получения и измерения высокого вакуума, рассматриваются практические методы расчета вакуумных систем и их отдельных элементов. Подробно описаны процессы взаимодействия атомов и ионов с поверхностями твердых тел при низких давлениях. Книга предназначена д...

М.: Изд-во МЭИ, 2001. - 180с. Учебное пособие предназначено для студентов института теплоэнергетики и технической физики МЭИ. Пособие содержит подробное описание методов расчета сложных вакуумных систем. С помощью данных методов решаются задачи по определению проводимости и быстроты действия крионасосов и криоловушек, распределения молекул в объеме и на поверхности. Рассматриваются примеры применения данных методов для решения различных прикладн...

– М.: Энергоиздат, 1981. – 432 с., ил Излагаются сведения по кинетической теории газов, физике вакуума и процессам на поверхности твердых тел, соприкасающихся с газами. Приводятся методы расчета вакуумных систем, современные средства откачки, методы измерения парциального и общего давлений, методы обнаружения мест натекания.

М.: Машиностроение, 1976. – 64 стр. В книги в сжатой и доступной форме излагаются особенности и специфические требования, предъявляемые к наиболее распространенным конструкционным материалам, используемым в вакуумной технике. Рассматриваются конструкции основных элементов вакуумных систем, нашедшие широкое применение в промышленности. Приводятся принципиальные схемы и конструкции коммутирующих элементов. Книга рассчитана на широкий круг инженерн...

Саксаганский Г. Л. Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах. — М.: Атомиздат, 1980. — 216 с. Посвящена основам теории, методам расчета и оптимизации сложных высоковакуумных систем. Изложены теоретические модели и базирующиеся на них способы определения параметров сильно разреженного газа и характеристик элементов вакуумных систем. Приведены методика и результаты вычислений пространственного распределения молекулярных потоков в вакуумных...

М.: Машиностроение, 1978. - 76 с.: ил. В брошюре кратко излагаются важнейшие понятия молекулярно-кинетической теории газов и вакуумной техники. Формулируются принципы, цели и особенности проектировочных расчетов вакуумных систем различных типов. Анализируются источники газовой нагрузки, методика выбора и и сравнительные характеристики откачных средств. Рассматриваются методы определения остаточного давления в вакуумных камерах, проводимости элеме...

М.: Машиностроение, 1992, 480 с. Второе издание. Справочник содержит основные сведения по теории вакуума, расчету, конструированию и эксплуатации вакуумных систем и их элементов. Приведены физико-механические характеристики материалов, применяемых для изготовления элементов вакуумных систем. Даны примеры конструктивного выполнения вакуумной аппаратуры, методы ее сборки и отладки, правила эксплуатации. Описаны приборы для измерения давления в ваку...