Оборудование для проведения молекулярно-лучевой эпитаксии

ПНИПУ, Пермь, РФ, Ермаков Н.Н., 2015. Молекулярно-лучевая эпитаксия представляет собой процесс эпитаксиального роста слоев различных соединений, происходящий за счет реакций между термически создаваемыми молекулярными или атомными пучками соответствующих компонентов на поверхности подложки, находящейся в сверхвысоком вакууме при повышенной температуре. Основные положения процесса молекулярно-лучевой эпитаксии
Устройство установки и принципы действия
Рабочий объем
Эффузионные ячейки
Подготовка подложки