На 83 страницах. Взамен ОСТ 92-8697-
75. Срок введения установлен с 1 июля 1981 г. Настоящий стандарт распространяется на прецизионные фотошаблоны, применяемые для изготовления тонкопленочных микросборок, выполненных на подложках из ситалла и анодированного алюминия.
Стандарт устанавливает типовые технологические процессы изготовления прецизионных эмульсионных и металлических фотошаблонов.
75. Срок введения установлен с 1 июля 1981 г. Настоящий стандарт распространяется на прецизионные фотошаблоны, применяемые для изготовления тонкопленочных микросборок, выполненных на подложках из ситалла и анодированного алюминия.
Стандарт устанавливает типовые технологические процессы изготовления прецизионных эмульсионных и металлических фотошаблонов.