Державний комітет промислової політики України. — Затверджено
наказом Державного комітету промислової політики України від
26.06.2001 №255. — Київ. — 18 с.
Ця примірна інструкція встановлює загальні вимоги безпеки при
проведенні технологічних дифузійно—окислювальних процесів, операцій
активації та термообробки. Вона може бути використана як основа для
розробки інструкцій, що діють на підприємствах по виробництву
продукції мікроелектроніки.
Загальні положення.
Вимоги безпеки перед початком роботи.
Вимоги безпеки під час роботи.
Вимоги безпеки після закінчення роботи.
Вимоги безпеки в аварійних ситуаціях.
Вимоги безпеки перед початком роботи.
Вимоги безпеки під час роботи.
Вимоги безпеки після закінчення роботи.
Вимоги безпеки в аварійних ситуаціях.