Міністерство промислової політики України. — Затверджено наказом
Мінпромполітики України від 19.08.2005 №311. — Київ. — 14 с.
Ця примірна інструкція встановлює загальні вимоги безпеки при
виконанні робіт з джерелами іонів на установках іонного легування
типу „Везувий". Вона може бути використана як основа для розробки
інструкцій, що діють на підприємствах усіх форм власності в галузях
мікроелектроніки, радіоелектроніки та приладобудування.
Загальні положення.
Вимоги безпеки перед початком роботи.
Вимоги безпеки під час роботи.
Вимоги безпеки після закінчення роботи.
Вимоги безпеки в аварійних ситуаціях.
Вимоги безпеки перед початком роботи.
Вимоги безпеки під час роботи.
Вимоги безпеки після закінчення роботи.
Вимоги безпеки в аварійних ситуаціях.