Монография. — М.: «Наука», Главная редакция физико-математической
литературы, 1972. — 320 с.
Книга посвящена изучению механизма образования и исследованию
структуры и субструктуры тонких пленок, сконденсированных в
вакууме. Рассмотрены неравновесные состояния и процессы
структурного старения с учетом изменения физических свойств во
времени. Описаны электронно-микроскопические исследования процессов
зарождения и основные разновидности роста пленок. Рассмотрены
главные закономерности формирования дефектной структуры
эпитаксиальных пленок. Описаны рентгеновские и электронографические
методы определения характеристик субструктуры поликристаллических
материалов. Исследован механизм образования внутренних
макронапряжений в образцах пленка — подложка.
Содержание
Механизмы конденсации и неравновесные состояния в пленках.
Процессы старения в тонких пленках.
Формы роста вакуумных конденсатов на изотропных подложках.
Механизм роста эпитаксиальных пленок.
Дефекты кристаллического строения, возникающие при росте эпитаксиальных пленок.
Исследование степени дисперсности субструктуры тонких поликристаллических конденсатов методом электронного микропучка.
Исследование субструктуры тонких поликристаллических конденсатов по ширине и профилю дифракционных линий.
Рентгенографическое изучение субструктуры толстых конденсированных пленок, препарированных при различных физико-технологических условиях.
Изменения субструктуры конденсированных пленок при длительном хранении и нагревании.
Ориентированные микродеформации (микронапряжения) в вакуумных конденсатах.
Внутренние макронапряжения в вакуумных конденсатах и механизмы их образования.
Общая характеристика структуры поликристаллических конденсированных пленок металлов.
Механизмы конденсации и неравновесные состояния в пленках.
Процессы старения в тонких пленках.
Формы роста вакуумных конденсатов на изотропных подложках.
Механизм роста эпитаксиальных пленок.
Дефекты кристаллического строения, возникающие при росте эпитаксиальных пленок.
Исследование степени дисперсности субструктуры тонких поликристаллических конденсатов методом электронного микропучка.
Исследование субструктуры тонких поликристаллических конденсатов по ширине и профилю дифракционных линий.
Рентгенографическое изучение субструктуры толстых конденсированных пленок, препарированных при различных физико-технологических условиях.
Изменения субструктуры конденсированных пленок при длительном хранении и нагревании.
Ориентированные микродеформации (микронапряжения) в вакуумных конденсатах.
Внутренние макронапряжения в вакуумных конденсатах и механизмы их образования.
Общая характеристика структуры поликристаллических конденсированных пленок металлов.