Петухов В.Ю., Гумаров Г.Г. Ионно-лучевые методы получения тонких пленок

Учебно-методическое пособие для студентов физического факультета. Казань, 2010, 87с. Издание 2-е, исправленное и дополненное. Методическое пособие предназначено для студентов четвертого курса, приступивших к изучению спецкурса Физика поверхности и тонких пленок. Во введении содержатся краткие сведения о тонких пленках и рассмотрены основные процессы, происходящие при их формировании. Кратко рассмотрены также основные методы их получения и приведены сравнительные характеристики этих методов. Подробно рассмотрены принципы действия и конструкции установок для магнетронного нанесения пленок, работающих на постоянном токе и с использованием ВЧ-распыления, и ионно-лучевому синтезу. Далее приведено описание лабораторных работ и порядок их выполнения.