Раскин А.А., Прокофьева В.К. Технология материалов микро-, опто - и наноэлектроники. Часть 1
Возможность скачивания данного файла заблокирована
по требованию правообладателя.
Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010, 164 стр.
В учебном пособии рассматриваются физико-химические процессы
получения материалов, используемых в микро-, опто- и
наноэлектронике, в том числе операции выделения химического
индивида из исходного сырья, очистка в виде соединений, финишное
рафинирование, получение монокристаллов с заданными свойствами. Для
студентов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и
микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в
соответствующей области.