Раскин А.А., Прокофьева В.К. Технология материалов микро-, опто - и наноэлектроники. Часть 1

Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010, 164 стр. В учебном пособии рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто- и наноэлектронике, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья, очистка в виде соединений, финишное рафинирование, получение монокристаллов с заданными свойствами. Для студентов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.