Саєнко В.А. Стаціонарні електричні розряди з однорідним випаровуванням електрода у вакуумі та їх застосування в джерелах плазми, іонів та термоіонному напиленні

Автореферат дисертації на здобуття наукового ступеня доктора технічних наук Київ - 1999. 33с.
Спеціальність 05.27.02 ?вакуумна, плазмова та квантова електроніка.
Робота виконана в Науковому Центрі Інститут Ядерних Досліджень Національної Академії Наук України.
Мета роботи:
- дослідження властивостей і технологічних параметрів стаціонарного проходження електричного струму між електродами у вакуумі, якщо один з електродів однорідно випаровується зовнішнім нагрівачем, електронним пучком або самим розрядом, тобто дослідження впливу нових граничних умов на проходження струму в системі тверде тіло рідина - приелектродний шар - неоднорідна плазма пари робочої речовини - приелектродний шар - тверде тіло;
- розробка на основі досліджених розрядів нових типів джерел плазми іонів та плазмових прискорювачів з електродом, що однорідно випаровується у вакуумі;
- розробка методів термоіонного напилення плівок і покриттів та їх застосування у розробці конкретних виробів мікроелектроніки, мікромеханіки, радіоізотопних та напівпровідникових приладів, контактів до високотемпературної надпровідної кераміки, декоративних, зміцнюючих і антифрикційних покриттів на промислові та побутові вироби.