УФН. 2003, Т.173, Вып. 6 С 609
Рассмотрены процессы в кластерной плазме, состоящей из плотной плазмы буферного газа и примеси металла. Эти процессы с участием кластеров в газе и плазме включают в себя нуклеацию в пересыщенном паре, образование металлических кластеров из соединений металла, а также сопутствующие химические процессы, зарядку кластеров в плазме и под действием пучка электронов. Проанализированы основные методы генерации кластеров, включая их образование и рост при истечении газа или пара из сопла, при лазерном воздействии на металлические поверхности, а также рост металлических кластеров в плазме при введении в нее соединений металла. Обсуждаются прикладные аспекты кластерных пучков, связанные с изготовлением тонких пленок, новых материалов и созданием горячей неоднородной плазмы.
Оглавление
Введение
Характер роста кластеров в газе и плазме
Процессы газе и плазме с участием кластеров
Методы генерации кластерных пучков
Процессы при генерации кластерных пучков
Применения кластерных пучков
Заключение
Рассмотрены процессы в кластерной плазме, состоящей из плотной плазмы буферного газа и примеси металла. Эти процессы с участием кластеров в газе и плазме включают в себя нуклеацию в пересыщенном паре, образование металлических кластеров из соединений металла, а также сопутствующие химические процессы, зарядку кластеров в плазме и под действием пучка электронов. Проанализированы основные методы генерации кластеров, включая их образование и рост при истечении газа или пара из сопла, при лазерном воздействии на металлические поверхности, а также рост металлических кластеров в плазме при введении в нее соединений металла. Обсуждаются прикладные аспекты кластерных пучков, связанные с изготовлением тонких пленок, новых материалов и созданием горячей неоднородной плазмы.
Оглавление
Введение
Характер роста кластеров в газе и плазме
Процессы газе и плазме с участием кластеров
Методы генерации кластерных пучков
Процессы при генерации кластерных пучков
Применения кластерных пучков
Заключение