Смирнов В.И. Неразрушающие методы контроля параметров полупроводниковых материалов и структур

Учебное пособие. — Ульяновск: УлГТУ, 2012. — 75 с. Рассмотрены методы измерения, используемые для контроля технологических операций при производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Основное внимание уделено методам измерения химического состава и кристаллографической структуры полупроводников, а также различным методам исследования морфологии поверхности с использованием средств оптической, рентгеновской и электронной микроскопии.
Пособие предназначено для магистров, обучающихся по направлению «Конструирование и технология электронных средств» и профилю подготовки — "Элементы и устройства электронно-вычислительных средств", изучающих вопросы технологии электронных средств.
Печатается в авторской редакции.