Учебное пособие. – СПб: Университет ИТМО, 2016. – 102 с.
В учебном пособии рассмотрены современные технологии производства радиоэлектронных компонентов, применяемы при производстве изделий приборостроения. Подробно изложены физические принципы, на которых основаны современные технологии получения тонкопленочных компонентов, интегральных схем, печатных плат. Особое внимание уделено системам контроля технологических параметров при производстве радиоэлектронных элементов.
Пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 12.03.01 «Приборостроение».
В учебном пособии рассмотрены современные технологии производства радиоэлектронных компонентов, применяемы при производстве изделий приборостроения. Подробно изложены физические принципы, на которых основаны современные технологии получения тонкопленочных компонентов, интегральных схем, печатных плат. Особое внимание уделено системам контроля технологических параметров при производстве радиоэлектронных элементов.
Пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 12.03.01 «Приборостроение».