Вавилов В.Д., Кругликов П.Ф., Толочков Ю.А. Интегральные датчики давления. Конструкция и технология

Учебное пособие. — Москва: МАИ, 2001. — 48 с. Рассматриваются конструкции интегральных датчиков, включающие микромеханические кремниевые чувствительные элементы и микроэлектронные преобразователи деформации в электрический сигнал. Приведены основы методики расчета интегральных датчиков давления. Подробно рассмотрены специфические технологические процессы формообразования кремниевых упругих чувствительных элементов, создания на их поверхности интегральных электронных структур, процессы сборки и контроля интегральных датчиков давления.
Работа предназначена для обучения студентов приборостроительных специальностей факультета "Системы управления, информатика, электроэнергетика летательных аппаратов" и может использоваться для курсового и дипломного проектирования. Также будет полезна аспирантам и инженерам, углубляющим свои знания в области современного приборостроения.