
143
ïîñðåäñòâîì ïðèëîæåíèÿ ê êåðàìèêå ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ [25]. Ïèðîýëåê-
òðè÷åñêèå ïðèåìíèêè ñî ñìåùåíèåì èíîãäà íàçûâàþò ôåððîýëåêòðè÷åñ-
êèìè èëè åìêîñòíûìè áîëîìåòðàìè.
Ìèíèìàëüíàÿ òîëùèíà ñëîåâ BaSrTiO
3
, ïîëó÷àåìûõ ñëîæíîé òåõ-
íîëîãèåé ïîëèðîâêè, îïðåäåëÿåòñÿ ðàçìåðîì çåðíà ìàòåðèàëà è ñîñòàâ-
ëÿåò ~20 ìêì. Êîíñòðóêòèâíî ïèðîýëåêòðè÷åñêàÿ ìàòðèöà [25] ñî-
ñòîèò èç äâóõ ïëàò (ðèñ. 2.22), èçãîòàâëèâàåìûõ ðàçäåëüíî äî ìîìåíòà
èõ ñîåäèíåíèÿ ìåòîäîì èìïóëüñíîãî ïðèæàòèÿ. Íà ïåðâîé ïëàòå ôîð-
ìèðóþò ïîãëîùàþùèé ýëåìåíò è ïèêñåëè BaSrTiO
3
ñ êîíòàêòíîé ìå-
òàëëèçàöèåé, íà âòîðîé ñèñòåìó òåïëîèçîëèðóþùèõ íîæåê èç îðãà-
íè÷åñêèõ ìàòåðèàëîâ ñ ìåòàëëèçàöèåé äëÿ ýëåêòðè÷åñêîãî êîíòàêòà ñ
ýëåìåíòàìè ñ÷èòûâàþùåé ýëåêòðîíèêè. Ïîãëîùàþùèé ýëåìåíò, íå
ðàçäåëåííûé íà ïèêñåëè, ïîñòðîåí ïî ñõåìå òðåõñëîéíîãî îïòè÷åñêî-
ãî ðåçîíàòîðà. Íèæíèé ìåòàëëè÷åñêèé ñëîé ïîãëîùàþùåãî ýëåìåíòà
ÿâëÿåòñÿ òàêæå îáùèì ýëåêòðîäîì ïèðîýëåêòðè÷åñêèõ ïèêñåëåé.
Ïèðîýëåêòðè÷åñêèå ìàòðèöû ñíàáæàþò òàêæå òåðìîýëåêòðè÷åñ-
êèì ñòàáèëèçàòîðîì òåìïåðàòóðû è ðàçìåùàþò â âàêóóìèðóåìîì
êîðïóñå [25]. Ñëåäóåò íàïîìíèòü, ÷òî ïèðîýëåêòðè÷åñêèé ïðèåìíèê
â îòëè÷èå îò áîëîìåòðà, ðåàãèðóåò òîëüêî ïåðåìåííóþ ìîùíîñòü ÈÊ
èçëó÷åíèÿ, ïîýòîìó ïðè èñïîëüçîâàíèè ïèðîýëåêòðè÷åñêèõ ìàòðèö â
ñìîòðÿùåì ðåæèìå íåîáõîäèìà ìîäóëÿöèÿ èçëó÷åíèÿ. Íàëè÷èå ìî-
äóëÿòîðà óñëîæíÿåò ïðèáîð, ñíèæàåò åãî íàäåæíîñòü è, êðîìå òîãî,
ïðèâîäèò ê óìåíüøåíèþ ÷óâñòâèòåëüíîñòè â 2 ðàçà. Íî íå ñìîòðÿ íà
ýòî ïî äîñòèãíóòûì DT
NET
ìàòðèöû Texas Instruments áëèçêè ê ìèêðî-
áîëîìåòðè÷åñêèì ìàòðèöàì HoneyWell, ÷òî âèäíî èç òàáëèöû 2.3.
Ðèñ. 2.22. Óñòðîéñòâî ïèðîýëåêòðè÷åñêîé ìàòðèöû ôèðìû Texas Instruments
[25].
1 òåïëîèçîëÿòîð, 2 òûëüíûé êîíòàêò òåðìî÷óâñòâèòåëüíîãî
ýëåìåíòà, 3 baSrTiO
3
ïèêñåëü, 4 ïîëóïðîçðà÷íàÿ ìåòàëëè-
÷åñêàÿ ïëåíêà, 5 îðãàíè÷åñêàÿ ïðîñëîéêà, 6 îòðàæàþùàÿ
ìåòàëëè÷åñêàÿ ïëåíêà, 7 êîíòàêòíàÿ ïîäóøêà, 8 ïëåíî÷íûé
ìåòàëëè÷åñêèé êîíòàêò, 9 êðåìíåâàÿ ïëàñòèíà ñ ýëåêòðîíèêîé
ñ÷èòûâàíèÿ