15
Совокупность  разнообразных  по  химической  активности,  энер-
гии и проникающей способности частиц делает низкотемпературную 
плазму  мощным  инструментом  модификации  свойств  материалов, 
сочетающим в себе элементы как химических, так и физических фак-
торов воздействия. 
По химическому составу газовой фазы плазму можно разделить 
на две основные категории [9, 20]. 
Неполимеризующая плазма. В качестве плазмообразующих, ис-
пользуются  различные комбинации инертных  газов (аргон,  неон,  ге-
лий) и молекулярных газов (азот, водород, воздух, кислород) или раз-
нообразные  химические  соединения,  не  приводящие  к  образованию 
полимеров. 
Полимеризующая  плазма,  содержащая,  по  крайней  мере,  один 
тип органического соединения,  который может быть осажден в  виде 
полимера. 
Плазменная система представляет собой частично ионизирован-
ный  газ,  стационарное  состояние  которого  поддерживается  за  счет 
энергии  внешнего  электромагнитного  поля.  Электроны,  перенося 
энергию  поля  к  тяжелым  частицам,  расходуют  свою  энергию  в  ре-
зультате  упругих  и  неупругих  соударений  с  тяжелыми  частицами. 
Часть этих соударений приводит к образованию химически активных 
частиц (свободные  радикалы,  атомы,  ионы,  электронно-  возбужден-
ные молекулы) [21]. Воздействие активных частиц и квантов ультра-
фиолетового  излучения  на  контактирующую  с  плазмой  поверхность 
может привести  к образованию  активных поверхностных состояний, 
способных к дальнейшим химическим воздействиям. Это алкильные,