15
Совокупность разнообразных по химической активности, энер-
гии и проникающей способности частиц делает низкотемпературную
плазму мощным инструментом модификации свойств материалов,
сочетающим в себе элементы как химических, так и физических фак-
торов воздействия.
По химическому составу газовой фазы плазму можно разделить
на две основные категории [9, 20].
Неполимеризующая плазма. В качестве плазмообразующих, ис-
пользуются различные комбинации инертных газов (аргон, неон, ге-
лий) и молекулярных газов (азот, водород, воздух, кислород) или раз-
нообразные химические соединения, не приводящие к образованию
полимеров.
Полимеризующая плазма, содержащая, по крайней мере, один
тип органического соединения, который может быть осажден в виде
полимера.
Плазменная система представляет собой частично ионизирован-
ный газ, стационарное состояние которого поддерживается за счет
энергии внешнего электромагнитного поля. Электроны, перенося
энергию поля к тяжелым частицам, расходуют свою энергию в ре-
зультате упругих и неупругих соударений с тяжелыми частицами.
Часть этих соударений приводит к образованию химически активных
частиц (свободные радикалы, атомы, ионы, электронно- возбужден-
ные молекулы) [21]. Воздействие активных частиц и квантов ультра-
фиолетового излучения на контактирующую с плазмой поверхность
может привести к образованию активных поверхностных состояний,
способных к дальнейшим химическим воздействиям. Это алкильные,