83
Тензорезисторы используют для измерения сил и деформаций твердых
тел. Существуют проволочные, фольговые, пленочные и полупроводниковые
тензорезисторы. Действие проволочных, пленочных и фольговых
тензорезисторов основано на зависимости R=f(l) или R=f(S).
Значительное распространение получили наклеиваемые фольговые
тензорезисторы. Они имеют ряд преимуществ перед проволочными, т. к.
обеспечивают лучшую теплоотдачу и высокую эффективность использования
при
наклейке на упругий элемент. Сопротивление фольговых
тензорезисторов достигает n·100 Ом, длина – 3 мм, а толщина – от 0,025 до
0,012 мм.
В последние годы широко используются пленочные тензометры,
получаемые путем вакуумной возгонки тензочувствительного материала и
последующей его конденсации на основание. В качестве
тензочувствительного материала используются как металлические сплавы,
так и полупроводники.
Важным достоинством пленочных и
фольговых тензорезисторов
является то, что при их изготовлении можно получить решетку любого
рисунка.
Относительная тензочувствительность тензорезистора
)//()/(
Т
llRR ΔΔ=
(9.9)
где R – сопротивление тензодатчика, ∆R – его изменение, l
Т
– длина
тензочувствительного элемента, ∆l – изменение длины датчика, вызванное
измеряемой деформацией.
В зависимости от сплава, чувствительность колеблется в широких
пределах, так для
манганина – η=0,5; копеля η=2,4; константана η=1,9÷2,1;
элинвара – η=3,2÷3,5; эдвано η=2,1; платинородий η=5,8.
нихрома – η≈2,1÷2,3; никеля η=12,6;
Сопротивление тензорезистора колеблется обычно от 100 до 200 Ом,
измеряемая деформация не превышает 1 %.
Проволочные тензорезисторы имеют малые ТКР.