7
Известно, что минимальный размер одного элемента в серийных
микросхемах, получаемых оптической фотолитографией, многие
годы держался на уровне 0,3 мкм, т.к. рабочая длина волны
используемого излучения равна 0,248 мкм. В последние годы усилия
ряда фирм направлены на разработку оптических устройств,
определяющих возможность использования в оптической литографии
излучения, длина волны которого равна 0,193 мкм, и получить
микросхемы с линейным размером элемента, равным 0,19 мкм [38].
Кварцевое стекло и фтористый кальций составляют идеальную
крон-флинтовую пару для такого литографического объектива.
Однако, эти материалы требуемого качества могут изготовить лишь
единичные фирмы в мире, в том числе ГОИ.
Важным видом оптических материалов, созданных на основе
стекла со структурной неоднородностью, является ситалл. Широко
известным и наиболее полезным с практической точки зрения
свойством ситаллов является близкий к нулю коэффициент
термического расширения. Такие ситаллы часто используются для
изготовления зеркал астрономических телескопов и поэтому
называются астроситаллами.
Для создания крупногабаритных астрозеркал важной задачей
является остеклование заготовок, получаемых из легких металлов и
сплавов [39]. Вывод в космос крупногабаритной облегченной
зеркальной оптики вызвал к жизни такие экзотические материалы, как
остеклованный бериллий или карбид кремния.
Развитие инфракрасной оптики потребовало разработки таких
материалов, как сульфоселенидные стекла, оптический германий,
сульфид и селенид цинка, фтористый барий и др.
Итак, понятие «оптические материалы» охватывает сегодня
огромное множество оптических сред, различающихся не только
показателем преломления
и коэффициентом дисперсии, но и
прозрачностью для излучения требуемого диапазона длин волн,
физико-механическими и физико-химическими свойствами,
требуемой воспроизводимостью оптических параметров,
необходимой оптической однородностью и т.д. Поэтому при
композиции оптической системы выбор материала составляющих ее
элементов является весьма важным этапом, определяющим не только
качество образованного ею изображения, не только
функциональные
и эксплуатационные свойства, но и экономическую целесообразность,
а иногда и принципиальную возможность построения оптического
устройства на основе такой оптической системы.