Аксёнов Д.С., Аксёнов И.И., Стрельницкий В.Е. Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами: Обзор

Статья

формат pdf
размер 4.28 МБ
добавлен 01 июня 2011 г.

Аксёнов Д.С., Аксёнов И.И., Стрельницкий В.Е. Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами: Обзор

Статья. Опубликована в ВАНТ, 2007, №2, с.190-202
Кратко рассмотрено современное состояние проблемы генерирования потоков эрозионной вакуумно-дуговой плазмы, очищенной от макрочастиц катодного материала. Приведены реферативные описания 27 вакуумно-дуговых источников плазмы с магнитными фильтрами, предназначенных для использования в технологических процессах осаждения плёнок микро- и нанометрового диапазонов толщин. Использованы материалы патентов и журнальных статей, опубликованных в период с середины 1970-х годов по настоящее время.

Похожие разделы

Смотрите также

Аксёнов И.И. и др. Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий

Статья

формат pdf
размер 538.69 КБ
добавлен 07 декабря 2011 г.

Статья. Опубликована в журнале Вопросы атомной науки и техники, №4, 2011, с.145-149. Показано, что небольшие добавки кремния (до 3 вес. %) в покрытиях на основе нитридов титана приводят к значительным изменениям характеристик (стойкости против износа трением и против ионного распыления, эрозионной стойкости, шероховатости) получаемых конденсатов по сравнению с покрытиями на основе «чистых» нитридов титана. Так, с ростом концентрации кремния в пок...

Аксенов И.И., Падалка В.Г., Хороших В.М. Формирование потоков Ме плазмы (обзор)

формат pdf
размер 3.15 МБ
добавлен 12 мая 2010 г.

М.: ЦНИИатоминформ, 1984г. - 84с. Анализируется способы и устройства для генерации металлической плазмы, основанные на использовании вакуумно-дугового разряда с расходуемым катодом. Рассматриваются работы, связанные, главным образом, с проблемами ионно-плазменной технологии обработки материалов и техники получения вакуума. Особое внимание уделено вопросам управления плазмой скрещенными E- и H- полями: фокусировке, отклонению, транспортировке и се...

Браун Я. Физика и технология источников ионов

формат djvu
размер 3.89 МБ
добавлен 22 января 2010 г.

В коллективной монографии авторов из США, ФРГ, Великобретании, Бельгии, Японии и России рассмотрены вопросы физики плазмы применительно к ионным источникам, проблемы вытягивания, фокусировки и транспортировки ионов, методы компьютерного моделирования, сильноточные газовые источники, источники-инжекторы для ускорителей частиц, источники для электромагнитных разделителей изотопов и промышленных имплантеров, источники на основе электронного циклотро...

Кадомцев Б.Б. Вопросы теории плазмы (выпуск 15)

формат djvu
размер 3.18 МБ
добавлен 17 октября 2009 г.

Вопросы теории плазмы: Сб. науч. ст. Вып. 15/Под ред. акад. Б. Б. Кадомцева. М.: Энергоатомиздат, 1987. 296 с. Приведены обзоры по теории нагрева плазмы пучком релятивистских электронов за счет возбуждения пучковых неустойчивостей, изложена теория равновесия и МГД-устойчивости плазмы в стеллараторах; дан обзор по теории процессов переноса в плазме высокого давления, включая вопросы диффузии и генерации магнитного поля в плазме. Для научных работ...

Кринберг И.А. Ускорение многокомпонентной плазмы в прикатодной области вакуумной дуги

Статья

формат pdf
размер 163.14 КБ
добавлен 06 августа 2011 г.

Статья. Опубликована в журнале технической физики, 2001, том 71, вып. 11, с. 25-31. Получено общее решение задачи о стационарном сферическом расширении в вакуум многокомпонентной плазмы с током. Показано, что в вакуумно-дуговых разрядах основное ускорение материала катода происходит после его перехода в плазменную фазу (на расстояниях 1 - 300 мкм от поверхности катода) под действием градиента электронного давления, поддерживаемого джоулевым нагре...

Леонтович М.А. (ред.) Вопросы теории плазмы (выпуск 4)

формат djvu
размер 3.05 МБ
добавлен 19 октября 2009 г.

Вопросы теории плазмы. Сб. статей. Вып. 4. Под ред. М Л. Леонтовича. — М.: Атомиздат, 1964. В четвертом выпуске серии сборников «Вопросы теории плазмы» излагаются основы гидродинамического описания плазмы, дается теория гидромагнитных течений идеально проводящей жидкости, приводится обзор теории неустойчивости относительного движения частиц плазмы и обсуждаются другие вопросы. Книга рассчитана на научных работников, инженеров-физиков, аспирантов...

Леонтович М.А. (ред.) Вопросы теории плазмы (выпуск 5)

формат djv
размер 8.41 МБ
добавлен 19 октября 2009 г.

Вопросы теории плазмы. Сб. статей. Вып. 5. Под ред. М Л. Леонтовича. — М.: Атомиздат, 1967. Пятый выпуск сборника «Вопросы теории плазмы» содержит материал, связанный с отдельными конкретными направлениями экспериментальных исследований по физике высокотемпературной плазмы. Исследуется устойчивость плазмы в ловушках с магнитными пробками и обсуждается возможность самоподдерживающейся термоядерной реакции в таких ловушках. Приведены результаты ис...

Оулет Р., Барбье М., Черемисинофф П. Технологическое применение низкотемпературной плазмы

формат djvu
размер 1.5 МБ
добавлен 02 марта 2011 г.

Москва, Энергоатомиздат, 1983, 144 с. Рассмотрены механизмы и принципы обработки органических полимеров при воздействии на них плазмы, создаваемой в неполимерных средах. Проводится анализ применения плазмы для целей органического синтеза: образования новых компаундов, синтезирования веществ в единой реакции вместо нескольких ступеней. Описываются технологии, использующие плазменные потоки и дуговые разряды, и применяемые в этих технологических пр...

Сысоев Ю.А. Инициирование вакуумно-дугового разряда в технологических источниках плазмы

Статья

формат pdf
размер 2.09 МБ
добавлен 10 августа 2011 г.

Статья. Опубликована в сборнике научных трудов Вопросы проектирования и производства конструкций летательных аппаратов. Х., ХАИ, 2010, с. 280-295. В работе выполнены комплексные исследования надежности и долговечности систем инициирования вакуумно-дугового разряда в технологических источниках плазмы различного типа: контактные с искровым поверхностным пробоем, двухступенчатые системы запуска с автономным плазменным инжектором и системы поджига, о...

Хороших В.М. Стационарная вакуумная дуга в технологических системах для обработки поверхности

Статья

формат pdf
размер 446.7 КБ
добавлен 02 мая 2011 г.

Статья. Опубликована в ФIП ФИП РSE. 2003 т.1 с.19- 24. Библ. - 73наим. В работе выполнен обзор по применению плазмы стационарного вакуумно-дугового разряда с интегрально холодным катодом для получения покрытий различного назначения. Исследовано изменение параметров плазмы при взаимодействии ее с газовой мишенью в объеме вакуумной камеры.