/ В. В. Батавин, Ю. А. Концевой, Ю. В. Федорович
- М.: Радио и связь, 1985. - 264 с., ил. (Измерения в
электронике).
Рассмотрены физические основы методов измерений электрофизических и
структурных параметров полупроводниковых материалов и
эпитаксиальных слоев, а также освещены вопросы их практической
реализации. Анализируются причины возникновения погрешностей,
даются рекомендации по ограничению и устранению источников ошибок
измерений. Приводятся сведения о контрольно-измерительных средствах
лабораторного и промышленного применения и их характеристиках.
Для инженерно-технических работников, занимающихся контролем
качества и исследованием физических свойств полупроводниковых
материалов и структур.
Несмотря на солидный возраст издания, книга не потеряла своей
актуальности и в настоящее время в связи с практически полным
отсутствием современной отечественной литературы аналогичного
уровня. В особенности она может быть полезна преподавателям и
студентам при изучении дисциплин, связанных с полупроводниковым
материаловедением.