Бормонтов Е.Н., Быкадорова Г.В., Григорьев Р.Г. Наклонная ионная имплантация

Практикум / Науч. ред. Петров Б.К. - Воронеж: ВГУ, 2003. - 31 стр. Практикум к спецкурсу ''Моделирование в микроэлектронике'' подготовлен на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 4 и 5 курсов физического факультета специальности ''Микроэлектроника и полупроводниковые приборы'', а также студентов 6 курса, обучающихся в магистратуре по направлению ''Физика'' (программа ''Физика полупроводников. Микроэлектроника'').