Чеховой А.Н., Прокофьев С.В. Экология плазменных нанотехнологий

Сборник научных трудов и разработок. Ориентированные фундаментальные исследования - федеральные целевые программы, наукоемкое производство. Под ред. К.В. Фролова. М.: Эксподизайн. 2007. - С. 168-169. Представлены результаты исследований покрытия, относящегося к алмазоподобной нанокерамике. проведенные на Ракетно-космическом заводе ГКНПЦ им. М.В. Хруничева. Данное покрытие наносили из паровой фазы на металлические и металлокерамические изделия с использованием атмосферной низкотемпературной аргоновой плазмы с использованием установки УПНС-304М производства ООО "Плазмацентр" (Санкт-Петербург). При использовании данной технологии, получившей название финишного плазменного упрочнения, формируется покрытие алмазоподобного оксикарбида кремния с повышенной твердостью и демпфирующей способностью.