Запорожье: ЗГИА, 2007. — 154 с.
Рассмотрено возникновение и развитие различных видов течений в
расплавах полупроводниковых материалов. Основное внимание уделено
решению задач развития тепловой, термокапиллярной, центробежной и
электродинамической конвекций в процессе выращивания монокристаллов
из расплава. Приведены методы и приемы повышения качества
монокристаллов путем регулирования характеристик течения в
расплаве. Для инженерно-технических работников, научных
сотрудников, преподавателей, аспирантов и студентов
Введение
Виды конвективного движения в расплаве при выращивании монокристаллов
Метод Чохральского
Метод Степанова
Метод бестигельной зонной плавки
Виды конвекционных течений
Тепловая конвекция
Термокапиллярная конвекция
Центростремительная конвекция
Электродинамическая конвекция
Влияние магнитного поля на движение расплава
Движение расплава в условиях невесомости
Взаимодействие отдельных видов конвекции
Экспериментальные и численные методы исследования движения расплава
Физическое моделирование движения потоков жидкости
Математическое моделирование движения потоков жидкости
Выращивание монокристаллов методом Чохральского
Метод индукционной бестигельной зонной плавки
Методы и приемы управления конвективными потоками с целью повышения качества выращиваемых монокристаллов
Изменение геометрических размеров зоны расплава и градиента температуры
Внешнее воздействие на расплав
Электромагнитные поля
Выращивание монокристаллов в условиях невесомости
Выращивание кристаллов в центрифуге
Метод возвратно-поступательного движения
Воздействие вибрации на расплав
Ультразвуковое воздействие на расплав
Литература
Виды конвективного движения в расплаве при выращивании монокристаллов
Метод Чохральского
Метод Степанова
Метод бестигельной зонной плавки
Виды конвекционных течений
Тепловая конвекция
Термокапиллярная конвекция
Центростремительная конвекция
Электродинамическая конвекция
Влияние магнитного поля на движение расплава
Движение расплава в условиях невесомости
Взаимодействие отдельных видов конвекции
Экспериментальные и численные методы исследования движения расплава
Физическое моделирование движения потоков жидкости
Математическое моделирование движения потоков жидкости
Выращивание монокристаллов методом Чохральского
Метод индукционной бестигельной зонной плавки
Методы и приемы управления конвективными потоками с целью повышения качества выращиваемых монокристаллов
Изменение геометрических размеров зоны расплава и градиента температуры
Внешнее воздействие на расплав
Электромагнитные поля
Выращивание монокристаллов в условиях невесомости
Выращивание кристаллов в центрифуге
Метод возвратно-поступательного движения
Воздействие вибрации на расплав
Ультразвуковое воздействие на расплав
Литература