Boca Raton: CRC Press, 2013. — 478 p.
За последние десять лет в отрасли микроэлектромеханических систем
(МЭМС) произошел бурный рост. Их применение варьируется от
акселерометров и гироскопов, используемых в автомобильной
безопасности до высокоточных встроенных генераторов на кристалле
для эталонных генераторов и мобильных телефонов. Книга "МЭМС:
Фундаментальные технологии и применение" объединяет новаторские
исследования в области технологии микроэлектромеханических систем и
исследует разнообразный набор новых применений, которые
поддерживает эта технология. В книге представлены материалы ведущих
экспертов из промышленности и академических кругов со всего мира.
Авторы объясняют теоретическую основу и предоставляют практические
идеи применения технологии. От исторической эволюции
наномикросистем до последних тенденций...
Язык английский.
Язык английский.