Микро- и наносистемная техника

Бараночников М. Л. Микромагнитоэлектроника. 2001, 544 с. (том 1), 691 с. (том 2) В первой части в доступной форме излагаются принципы работы преобразователей магнитного поля (элементов Холла, магниторезисторов, магнитодиодов, магнитотранзисторов и др. ), а также изделий микромагнитоэлектроники, создаваемых на их основе. Приводятся схемы их сопряжения с другими электронными узлами. Во второй части приводятся справочные данные по более чем 2500 т...

2-е издание. М.: ДМК Пресс, 2014 - 887с. ISBN 978-5-94074-757-4 Посвящается новому напрвлению техники - микромагнитоэлектронике. Приводятся основные параметры и характеристики наиболее известных и типичных изделий микромагнитоэлектроники, выпускаемые отечественными и зарубежными производителями. В том числе преобразователей магнитного поля, магниточувствительных и магнитоуправляемых ИС, датчиков положения, скорости вращения, угла поворота и угла...

Под общей редакцией В.Н. Мордковича. М: 2002. — 691 с. ил. Электронная авторская версия Посвящается новому направлению техники - микромагнитоэлектронике. Приводятся основные параметры и характеристики наиболее известных изделий микромагнитоэлектроники, выпускаемых отечественными и зарубежными производителями. В том числе преобразователей магнитного поля, магниточувствительных и магнитоуправляемых ИС, датчиков положения, скорости вращения, угла по...

Содержание: Назначение и принципы формирования импульсов с нано- и пикосекундным фронтами. Схемотехника формирователей с применением Ддрв,Дзлп и насыщающихся индуктивностей. Исследование промышленных диодов в качестве Ддрв иДзлп. Приёмы для повышения качественных параметров импульсов. Широкополосные делители тока и напряжения как измерительные элементы формирователей. Примеры конкретных схем формирователей. Заключение. Институт ядерной физики Со...

М.: Энергоатомиздат, 1983. - 136 с., ил. Представлено одно из новейших направлений в создании пролупроводниковых тензометрических измерительных преобразователей, основанное на использовании технологии микроэлектроники. Рассмотрены физические , технологические и схемотехнические вопросы разработки интегральных тензопреобразователей. Для специалистов, работающих в области измерительной техники, автоматики и полупроводниковой электроники, а также дл...

СПб., СПбИТМО, 2008 г. 100 стр. В учебном пособии рассмотрены процессы формирования микроструктурных элементов фотоники и информационных систем (MEMS и MEOMS), в том числе фотонных кристаллов, основанные на оптических методах: оптической литографии, голографии и фотоотверждения полимеров. Приведены основы современных технологий получения элементов и структур микронных, субмикронных и наноразмеров. Пособие предназначено для бакалавров и магистров,...

Саратов: Изд-во Сарат. ун-та, 2009. 374.с. Глухова О.Е, Гороховский А.В., Жуков Н.Д., Климов Б.Н., Штыков С.Н., Щёголев С.Ю. Книга содержит анализ современных промышленных приложений нанотехнологии, получивших в литературе и официальных документах название «наноиндустрия». Рассмотрены все направления развития отечественной наноиндустрии: организационные, технологические, материаловедческие, приборные, системные.

Статья. Опубликована в журнале Успехи физических наук. — 2010. — т. 180, №9 — С. 897-930 Представлен обзор современного состояния исследований, связанных с разработкой холодных полевых катодов на основе углеродных нанотрубок (УНТ). Применительно к углеродным нанотрубкам рассмотрены физические особенности полевой эмиссии электронов, определяющие уникальные эмиссионные свойства этих объектов. Анализируются физические эффекты и явления, оказывающие...

Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2007, 10с. Содержание: Положение Основы метрологии, стандартизации и измерительной техники Технология материалов электронной техники Тонкие пленки в микроэлектронике Твердотельная электроника и микроэлектроника Физика твердого тела Примеры экзаменационных билетов

М.: ДМК Пресс, 2018. — 140 с.: ил. Эволюционное развитие техники подошло к рубежу крупных изменений; открылись новые интересные задачи – разведка полезных ископаемых, предсказание землетрясений, сверхточное измерение положений железнодорожных путей и нефтепроводов, инновации в медицинской технике и др. В четырех тематических главах книги рассматриваются измерительные и силовые электронные датчики в современном исполнении микроэлектромеханических...

Реферат с презентацией. СГУ им.Чернышевского, 2014. Дисциплина: Приборы на квантовых эффектах. 24 стр, 7 источников использованной литературы. В данной работе были рассмотрены некоторые квантовые эффекты, связанные с работой полевых транзисторов различных видов. В качестве вводной части в пунктах 1-2 изложены основные понятия, относящиеся к принципу работы и характеристикам полевых транзисторов с управляющим pn-переходом и МОП-транзисторов. Подр...

Мн.: БНТУ, 2005. – 97 с. Качество: изначально электронная книга В словаре даны термины и наиболее широкоупотребляемые словосочетания и аббревиатуры по микросистемной технике и технологии изготовления изделий микросистемной техники. Объём словаря – около 1500 терминов. Словарь предназначен для студентов, которые изучают английский язык и слушают лекции по микросистемной технике, а также для инженерно-технических работников, научных сотрудников, п...

Учеб. пособие. / Ф. Ф. Колпаков, Н. Г. Борзяк, В. И. Кортунов. - Харь-ков: Нац. аэрокосм. ун-т "Харьк. авиац. ин-т", 2006. - 82 с. Представлен систематизированный аналитический обзор основных современных зарубежных публикаций по тематике разработки и использования микроэлектромеханических устройств. Приведен обширный перечень базовых работ, а также изложен оригинальный материал по результатам научно-исследовательских работ, проведенных в «ХАИ»...

Таганрог, ТГТУ, 2009, 120 стр. В учебном пособии рассмотрены основные вопросы, затрагиваемые дисциплины «Компоненты микросистемной техники»: элементы и компоненты микросистем (MEMS. MEOMS), базовых физических принципах их функционирования, характеристиках, конструкциях и особенностях применения. Книга адресована аспирантам и студентам вузов, специализирующихся в области проектирования элементной базы микросистемной техники.

Красноярск, Сибирский Федеральный Университет,2007 г. (210 стр. ). 1. Сенсоры и микроактюаторы. Лекция 1 Введение. Лекция 2 Сенсоры. Лекция 3 Сенсоры (продолжение). Лекция 4 Сенсоры (окончание). Лекция 5 Актюаторы. Лекция 6 Актюаторы (продолжение). Лекция 7 Актюаторы (окончание). 2. Микромеханизмы и миниатюрные управляемые электронные и оптические компоненты. Лекция 8 Управляемые микроэлектрорадиокомпоненты. Лекция 9 Управляемые оптоэлектромехани...

Интегральная электроника на сегодняшний день является одной из наиболее бурно развивающихся отраслей современной промышленности. Одной из составных частей данной науки является схемотехническая микроэлектроника. На каждом новом этапе развития технологии производства интегральных микросхем (ИМС) создаются принципиально новые методы изготовления структур ИМС, отражающие последние достижения науки

Статья. "Гироскопия и навигация" №2 (41), 2003. Структура и характер шумовых составляющих выходного сигнала микромеханического гироскопа (ММГ) в большой степени определяет его чувствительность к внешней угловой скорости. Для анализа шумовых составляющих сигнала ММГ наряду с классическими методами исследования широко применяется метод вариации Аллана. В статье приводится инженерная методика применения этого метода и физическая интерпретация основ...

М.: Изд. МИФИ, 1989. - 80 с. Описание: Настоящее учебное пособие состоит из 9 глав, включающих задачи по анализу, расчету и проектированию аналоговых электронных схем, таких как усилители переменного и постоянного тока, операционные усилители, усилители с обратной связью и стабилизаторы напряжения. Данное пособие предназначено для студентов дневного и вечернего факультетов, а также для слушателей ФПС, специализирующихся в области электроники и ми...

Учебное пособие / А. А. Левицкий. - Красноярск: СФУ, 2007 – 85 с. Представлен лабораторный практикум по дисциплине «Компоненты микросистемной техники». Приведено краткие теоретические сведения. Даны указания к выполнению лаборатор-ных работ. Рекомендуется студентам, изучающим вопросы проектирования компонентов микро-системной техники.

Рассматриваются базовых принципов функционирования и конструирования механических и электромеханических элементов и устройств, реализуемых на микроуровне, а также основные технологии изготовления микроустройств. (Показаны основные маршруты изготовления, используемые в современных производствах)

В учебном пособии рассмотрены сенсорные и актюаторные элементы и средства их проектирования. Детально разобраны технологии изготовления, конструкции и принципы функционирования. Также детально описаны лаборатории-на-кристалле, их принципы работы и применения. Таганрогский технологический институт. Для технических специальностей.

Лекции: Лекция 1. "Введение. Основные понятия и термины. " Лекция 2. "Параметры и характеристики микросистем. " Лекция 3. "Чувствительные элементы для микросистем. " Лекция 4. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 1. Пьезоэлектрические датчики. " Лекция 5. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 2. " Лекция 6. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 3. " Лекция 7. "Сенсорные компоненты МСТ. Часть 4. " Лекция 8. "Актюаторные элементы МСТ. Микромеханические ключи. "...

Таганрог, ТГТУ (Технический Институт ЮФУ), 2007 г. - 27 с. В данной работе приведены примеры расчётов сенсоров и актюаторов по курсу «Микроэлектромеханика». Целью их выполнения является приобретение студентами практических навыков по расчету микромеханических элементов микросистемной техники с электростатической и тепловой активацией. Для студентов специальностей 210108 Микросистемная техника, 210202 Проектирование и технология электронно-вычисли...

Учебное пособие. - Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2009. - 50 с. В учебном пособии рассматриваются физические возможности измерения температуры, используемые в микросистемной технике (МСТ), и возможности их интегральной реализации. В частности, подробно описываются активные сенсоры температуры на основе термоэлектричества (эффект Зеебека), пассивные способы, основанные на измерении термозависимости различных типов резисторов и параметров транзисторов....

Учебное пособие. - Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2009. - 50 с. В учебном пособии рассматриваются физические возможности измерения температуры, используемые в микросистемной технике (МСТ), и возможности их интегральной реализации. В частности, подробно описываются активные сенсоры температуры на основе термоэлектричества (эффект Зеебека), пассивные способы, основанные на измерении термозависимости различных типов резисторов и параметров транзисторов....

Москва, Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1998 г. Учебное пособие посвящено основным вопросам проектирования волнового твердотельного гироскопа, включая выбор расчетной модели погрешностей, рекомендации по определению параметров систем управления резонатором, съема и обработки информации, методике балансировки и испытаний гироскопа. Учебное пособие написано в соответствии с программой и на базе курса лекций, читаемого профессором В.А. Матвеевым...

Нальчик, Каб. -Балк. университет, 2008. - 79 с. В сборнике публикуются материалы докладов, представленных на Международной научно-технической конференции "Микро- и нанотехнологии и фотоэлектроника". Конференция проходила в Эльбрусском учебно-научном комплексе Кабардино-Балкарского государственного университета с 13 по 19 июля 2008г.

В учебном пособии рассмотрено использование электрического поля в компонентах микросистемной техники (МСТ). Первый раздел пособия содержит краткое изложение традиционных сведений об основных закономерностях электрического поля. Во втором разделе излагаются вопросы механики, описывающие поведения компонентов МСТ, находящихся в силовом поле под нагрузкой. В третьем разделе описаны принципы создания актюаторных компонентов, использующих электрическо...

Минск: Беларус. навука, 2012г.- 257с . Рассмотрены принципы формирования анодного оксида алюминия, приведены его основные физико-механические свойства, технологические методы получения пленарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и других микроактюаторах. Определены основные закономерности соотношения входных и выходных параметров в проц...

Москва: Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. — 49 с. Микросистемная техника – активно развивающееся направле ние, создающее функционально законченные нано и микроразмер ные устройства, характеристики которых кардинальным образом отличаются от характеристик устройств аналогичного назначения, созданных по традиционным технологиям. Учебное пособие содержит сведения о физических принципах функционирования электромеханических систем и об основных...

Учебное пособие для ВУЗов. — М.: ИНФРА-М / Красноярск: Уральский федеральный ун-т, 2014. — 273 с.: ил. — ISBN 978-5-16-100352-7. В учебном пособии раскрывается технологический аспект сенсорики и приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нанотехнологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Особо выделен технологически...

Наглядное пособие. - Красноярск: Сибирский Федеральный Университет,2007. - 261 слайд. Введение. Сенсоры. Актюаторы. Управляемые микроэлектрорадиокомпоненты. Управляемые оптоэлектромеханические микрокомпоненты. Микроустройства обработки, хранения и записи информации. Микромеханизмы. Микросистемы для генерации и преобразования энергии и движения. Микросистемы хранения и рекуперации энергии. Интеллектуальные и мультисенсорные системы. Миниатюрные а...

Москва, МГТУ МИРЭА, 2013. - 15 с. Преподаватель: доц. Савицкий В.А. Предмет: микросистемная техника и электроника. Факультет: электроники. Специальность: электроника и микроэлектроника. Введение. Эффект одноэлектронного туннелирования. Микроэлектромеханические системы (МЭМС). Приборы одноэлектроники. Микроактюаторы. Емкостные актюаторы.

Утвержден приказом Министерства труда и социальной защиты Российской Федерации от 31 октября 2014 г. N 859н Согласно стандарту в функции данных специалистов входит разработка и обеспечение технологического процесса производства изделий микроэлектроники. Стандарт применяется работодателями при формировании кадровой политики, организации обучения и аттестации работников, заключении трудовых договоров, разработке должностных инструкций и установлени...

СФУ, Красноярск/Россия, Кафедра приборостроения и наноэлектроники, Семенова О. В., 2015, 42 стр., 4 курс. Дисциплина "Основы технологии электронной компонентной базы" Тема задания "Разработать конструкцию полупроводниковой интегральной микросхемы, в соответствии со схемой электрической принципиальной" Содержание: Анализ технического задания. Анализ режима работы схемы по постоянному току. Последовательность операций планарно-эпитаксиальной технол...

СФУ, Красноярск/Россия, Кафедра приборостроения и наноэлектроники, Фенькова Н. Б., 2015, 43 стр., 4 курс. Дисциплина "Основы проектирования электронной компонентной базы" Техническое задание: разработать технологическую инструкцию на изготовление барьерного автогенератора. Входной контроль подложек. Подготовка поверхности подложки. Очистка подложек. Изготовление слоя резисторов I группы. Общие положения. Напыление слоя кермет К50-С. Фотолитографи...

СФУ, Красноярск/Россия, Кафедра приборостроения и наноэлектроники, Фенькова Н. Б., 2014, 12 стр., 3 курс. Дисциплина "Основы проектирования электронной компонентной базы" Тема задания "Разработать топологию гибридно-интегральной микросхемы" Содержание: Расчет тонкопленочных резисторов. Расчет тонкопленочных конденсаторов. Подбор навесных компонентов. Расчет площади подложки. Приложение А схема принципиальная. Приложение Б транзисторы. Приложение...

Учебное пособие. — М.: Машиностроение, 2007. — 400 с. Изложены терминология, классификация, конструкции и принципы работы микромеханических осевых и маятниковых акселерометров, датчиков давления и гироскопов LL-, LR- и RR-типов. Даны описание и расчет прямых (датчиков перемещений и деформаций) и обратных (датчиков сил и моментов) преобразователей в микромеханическом исполнении, схемы электронной обработки сигналов. Приведены примеры электронного...

Распопов В. Я. Микромеханические приборы: учебное пособие. - М.: Машиностроение, 2007. - 400с., ил. Изложены терминология, классификация, конструкции и принципы работы микромеханических осевых и маятниковых акселерометров, датчиков давления и гироскопов LL-, LR- и RR-типов. Даны описание и расчет прямых (датчиков перемещений и деформаций) и обратных (датчиков сил и моментов) преобразователей в микромеханическом исполнении, схемы электронной обра...

MEMS (Micro-Electro Mechanical Systems). Базовые понятия. Микроактюатор.DMD для DLPЭлектромеханическая память. Электромеханика в телекоммуникациях. Перспективы MEMS – дисплеев. MEMS - источники питания для портативных устройств. MEMS – матрицы. Датчики. Датчики для измерения параметров движения на основе MEMS-технологии. Современный рынок MEMS. MEMS технологии в России. Перспективные проекты.

Содержание. Полупроводник. Собственная проводимость. Электронные полупроводники (n-типа). Дырочные полупроводники (р-типа). Легирование. Значение легирования. Легирование полупроводников. Донорная примесь. Акцепторная примесь. Амфотерные примеси. Изовалентные примеси. Радиационное легирование. Нетрадиционные химические примеси. p-n-переход. Методы введения примесей. Итог. Литература. НТУУ"КПИ" ПСФ 2 курс.

Микро-электромеханическая система. Содержание. Принцип действия и области применения. Базовые понятия. Датчики и микроактюаторы. Самый маленький датчик. Нанодатчики в космосе. «Электромеханика» в телекоммуникациях. Конструктивные особенности и основные характеристики. Технология MEMS. MEMS – дисплей. MEMS – источники питания для портативных устройств. Схемы включения. DMD для DLP. Электромеханическая память. Литература. Приложение А. Системы на о...

Содержание включает: Общая характеристика гироскопов. Понятие «гироскоп». Основные понятия. История. Классификация. Применение. Механические гироскопы. Свойства двухосного роторного гироскопа. Микромеханический гироскоп. Актуальность темы. Принцип действия. Конструктивные схемы ММГ. Погрешности ММГ. Проблемы конструирования ММГ. Новые типы гироскопов. Использование гироскопа в смартфонах и игровых приставках. Примеры. Литература Для НТУУ"КПИ" П...

Тонкопленочные конденсаторы: Расчет тонкопленочных конденсаторов без подстроечных секций, Расчет гребенчатых конденсаторов, Расчет тонкопленочного конденсатора повышенной точности, Добротность тонкопленочных конденсаторов. Пленочные индуктивности: Исходные данные для расчета, Расчет пленочных катушек индуктивности.

Авторский коллектив: Тимофеев В. Н., Погалов А. И., Угольников С. В., Андрианов А. М., Панкратов О. В. М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009. — 176 с. : ил. ISBN 978-5-94774-907-6 Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции мик...

Автор - Беляев В.В. 15 слайдов. Показано: МЭМС (MEMS) - определение, основные понятия. Соотношение объектов макро, микро и наномира. Подобие и характеристические числа: число Ньютона, число Коши, число Фурье, число Фруда, число Вебера, число Рэйнолдса. Различие биологических и технических систем.

Сборник материалов и тезисов докладов 13-й научной молодежной школы по твердотельной электронике "Физика и технология микро- и наносистем" (12 – 13 ноября 2010 г. Санкт-Петербург, г. Зеленогорск). Тематика связана с решением актуальных задач современной микро- и наноэлектроники, микро- и нанодиагностики, микро- и нанотехнологии, физики твердого тела. Ее цель – развитие творческой активности студентов и аспирантов, сохранение и развитие единого на...

В сборнике представлены тезисы докладов 12 научной молодежной школы (10-11 октября 2009г. СПб, п. Репино, пансионат "Заря"). Тематика докладов - современная микро- и наноэлектроника, нанодиагностика, микро- и нанотехнологии. Организаторы- СПбГЭТУ "ЛЭТИ". ФТИ им. А. Ф. Иоффе РАН, ИХС им. И. В. Гребенщикова РАН. Пленарные доклады В. В. Лучинин, Ю. М. Таиров. (СПбГЭТУ "ЛЭТИ") О ПЕРСПЕКТИВАХ РАЗВИТИЯ ОБРАЗОВАНИЯ ДЛЯ НАНОИНДУСТРИИ…………………………………. А. Я....

В сборнике представлены тезисы докладов 14 научной молодежной школы (24 – 25 ноября 2011 г., Санкт-Петербург). Тематика докладов - современная микро- и наноэлектроника, энергетика. Организаторы- СПбГЭТУ "ЛЭТИ". ФТИ им. А. Ф. Иоффе РАН. Пленарные доклады Лучинин В.В. ФОРМИРОВАНИЕ НОВОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УКЛАДА Афанасьев В.П., Забродский А. Г. СОСТОЯНИЕ И ТЕНДЕНЦИИ ПОВЫШЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОСТИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ БОЛЬШОЙ ПЛ...

Коллективная монография. Лондон, The Institution of Engineering and Technology, 2008 г. - 940 с. Серия: IET circuits, devices and systems series. Том. 18. Редакторы серии: Dr R.S. Soin. Dr D.G. Haigh. Professor Y. Sun. Рассматриваются вопросы разработки, создания и использования интегрированных систем типа "лаборатория на чипе". Подробно рассматривается разработка систем разного уровня, особенности работы датчиков в режиме реального времени, мето...

Proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Optical Chemical Sensors (Erice, Italy, 29 July - 10 August 2004). Springer, 2006. 549 p. ISBN-10 1-4020-4609-X In the summer of 2004, the NATO A.S.I. on the subject Optical Chemical Sensors was organised in Erice, Sicily. This NATO A.S.I. was the 40th Course of the International School of Quantum Electronics, under the auspices of the Ettore Majorana Foundation and Center for Scientific Cultur...

Oxford University Press, 2 edition, 2001, pages: 603. Ideal for upper-level undergraduate or first-year graduate courses and as a handy reference for professionals, The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication, Second Edition, provides a thorough and accessible introduction to the field of microfabrication. Revised and expanded in this second edition, the text covers all the basic unit processes used to fabricate integrated circui...

Boca Raton: CRC Press, 2013. — 478 p. За последние десять лет в отрасли микроэлектромеханических систем (МЭМС) произошел бурный рост. Их применение варьируется от акселерометров и гироскопов, используемых в автомобильной безопасности до высокоточных встроенных генераторов на кристалле для эталонных генераторов и мобильных телефонов. Книга "МЭМС: Фундаментальные технологии и применение" объединяет новаторские исследования в области технологии микр...

CRC Press, 2005, 536 pages. Microelectronic Packaging analyzes the massive impact of electrochemical technologies on various levels of microelectronic packaging. Traditionally, interconnections within a chip were considered outside the realm of packaging technologies, but this book emphasizes the importance of chip wiring as a key aspect of microelectronic packaging, and focuses on electrochemical processing as an enabler of advanced chip metal...

Wiley-ISTE, 2009. - 212 p. This book provides the fundamentals and recent advances in nano and micromachining for modern manufacturing engineering. It begins by outlining nanomachining before discussing various advances in field and machining processes. The coverage concludes with an evaluation of subsurface damages in nano and micromachining and a presentation of applications in industry. As such, this book serves both as a useful classroom te...

Sрringer, 2005, 254 pages The field of Nanotechnology, which aims at exploiting advances in the fabrication and controlled manipulation of nanoscale objects, is attracting worldwide attention. This attention is predicated upon the fact that obtaining early supremacy in this field of miniaturization may well be the key to dominating the world economy of the 21st century, and beyond. NanoMEMS exploits the convergence between nanotechnology and mi...

Springer Science + Business Media, 2008, Pages: 421 This book investigates the development of networkable smart objects for Ambient Intelligence (AmI) with specific emphasis upon the implementation of the microsystems and nanoscale devices required to achieve effective smart systems. In this context, it seeks to investigate the challenges and potential solutions that will ensure the technology platforms are created to be capable of being seamle...

Springer, 2006. -349 p. (Springer Series in Advanced Microelectronics, vol. 24). This is the first compendium on silicon/glass microsystems made by deep wet etching and the first book with a detailed description of bonding techniques used in microsystem technology. Technological results presented in the book have been tested experimentally by the author and his team, and can be utilized in day-to-day laboratory practice. Special attention has bee...

CRC Press, Taylor & Francis Group, 2 edition, 2006, 647 pages. As our knowledge of microelectromechanical systems (MEMS) continues to grow, so does The MEMS Handbook. The field has changed so much that this Second Edition is now available in three volumes. Individually, each volume provides focused, authoritative treatment of specific areas of interest. Together, they comprise the most comprehensive collection of MEMS knowledge available, p...

Springer, 2011. 1185 p. ISBN: 0387473165 MEMS Materials and Processes Handbook is a comprehensive reference for researchers searching for new materials, properties of known materials, or specific processes available for MEMS fabrication. The content is separated into distinct sections on 'Materials' and 'Processes'. The extensive 'Material Selection Guide' and a 'Material Database' guides the reader through the selection of appropriate material...

Springer Science + Business Media, 2010, Pages: 314 The main goal of this book is to review recent progress and current status of MEMS/NEMS technologies and devices. Several important areas are discussed: history of research in the field, device physics, examples of sucessful applications, sensors, materials and processing aspects. The authors who have contributed to the book represent a diverse group of leading scientists from academic, indust...

Springer, 2011. 304 p. ISBN-10:1441960171 The successful launch of viable MEMs product hinges on MEMS reliability, the reliability and qualification for MEMs based products is not widely understood. Companies that have a deep understanding of MEMs reliability view the information as a competitive advantage and are reluctant to share it. MEMs Reliability, focuses on the reliability and manufacturability of MEMS at a fundamental level by address...

Springer Science+Business Media,, 2007, 701 pages Nanofabrication and nanotechnology present a great challenge to engineers and researchers as they manipulate atoms and molecules to produce single artifacts and submicron components and systems. Micro and Nanomanufacturing provides a comprehensive treatment of established micro and nanofabrication techniques and addresses the needs of practicing manufacturing engineers by applying established...

Publisher: Springer. Number Of Pages: 590. Publication Date: 2003. ISBN / ASIN: 0387007504. This volume covers many modern sensors and detectors. It is clear that one book cannot embrace the whole variety of sensors and their applications, even if it is called something like The Encyclopedia of Sensors. This is a different book, and the author’s task was much less ambitious. Here, an attempt has been made to generate a reference text that could b...

William Andrew Publishing, 2006, 992 p. MEMS, or microelectromechanical systems, claim to be the smallest functional machines that are currently engineered by humans. MEMS is an exciting field with rapidly growing commercial importance. When the field started, it was considered highly speculative, but early successes made researchers bold. Their enthusiasm spread to venture capitalists and eventually resulted in a range of commercially available...

Wiley-VCH, Weinheim, 1999, 368 pages. Microcomponents and microdevices are increasingly finding application in everyday life. The specific functions of all modern microdevices depend strongly on the selection and combination of the materials used in their construction, i.e., the chemical and physical solid-state properties of these materials, and their treatment. The precise patterning of various materials, which is normally performed by lithog...

Newnes, 2001. - 448 Pages. The leading professional guide to RF and microwave safety issues A practical handbook for all involved in electronic design and safety assessment, RF and Microwave Radiation Safety covers the problems of RF safety management, including the use of measuring instruments and methods, radiation hazards and risks resulting from electromagnetic interference, as well as reviewing current safety standards and the implications...

Malcovati P. , Baschirotto A. , D’Amico A. , Natale C. (Eds. ) Springer, 2009. 444 p. ISBN-10:9048136059 Sensors and Microsystems contains a selection of papers presented at the 14th Italian conference on sensors and microsystems. It provides a unique perspective on the research and development of sensors, microsystems and related technologies in Italy. The scientific values of the papers also offers an invaluable source to analyists intending...

MEMS: Introduction and Fundamentals covers the theoretical and conceptual underpinnings of the field, emphasizing the physical phenomena that dominate at the micro-scale. It also explores the mechanical properties of MEMS materials, modeling and simulation of MEMS, control theory, and bubble/drop transport in microchannels. Chapters were updated where necessary, and the book also includes two new chapters on microscale hydrodynamics and lattice B...

Таганрог, ТГРТУ (ЮФУ), 2007 г. , 125 стр. Учебное пособие. Рассмотрена общая классификация датчиков и теория измерений, основные схемы включения датчиков и их расчёт, физические основы микросистемной техники и полупроводниковых приборов, тензорезистивные сенсоры, пьезоэлектрические сенсоры, термоэлектрические сенсоры, датчики ускорения, вибрации, потока, гироскопы, магнитные сенсоры, датчики расхода и микронасосы, комбинированные сенсоры и т. д.

CRC Press, 2002, 1332 p. Справочник по MEMS. Язык - английский. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) относятся к приборам с типичными характеристичными размерами от 1 мкм до 1 мм, в которых скомбинированы электрические и механические компоненты, и которые изготовлены методами групповых обработок, наподобие присущих производству интегральных схем. Существующие технологии производства для МЭМС включают поверхностную кремниевую микрообработку, ми...

Wiley, 2003. 179 p. ISBN 0471233269 Society and industry worldwide continue to increase their reliance on the availability of accurate and current measurement information. Timely access to this information is critical to effectively meet the indication and control requirements of industrial processes, manufacturing equipment, household appliances, onboard automotive systems, and consumer products. A variety of technologies are used to address th...

Phil. Trans. R. Soc. Lond. A (2004) Microfluidics is the term that is used to describe flow in devices having dimensions ranging from millimetres to micrometres and capable of handling volumes of fluid in the range of nano- to microlitres. In the last few years there has been an explosion of work in this area. There are several reasons for this interest. One aspect is the confluence of technologies, for example, microfluidics and microelectrical...

William Andrew, Elsevier, 2010, 414 pages. This book presents applicable knowledge of technology, equipment and applications, and the core economic issues of micromanufacturing for anyone with a basic understanding of manufacturing, material, or product engineering. It explains micro-engineering issues (design, systems, materials, market and industrial development), technologies, facilities, organization, competitiveness, and innovation with a...

Artech House, 2004, 281 p. Here's the book to keep handy when you have to overcome obstacles in design, simulation, fabrication and application of MEMS sensors. This practical guide to design tools and packaging helps you create the sensors you need for the full range of mechanical microsensor applications. Critical physical sensing techniques covered include piezoresistive, piezoelectric, capacative, optical, resonant, actuation, thermal, and m...

Oxford University Press, 2005, 301 pages Microfluidics deals with fluids flowing in miniaturized systems. It is a young discipline, which is expected to substantially expand over the next few years, stimulated by the considerable development of applications in the pharmaceutical, biomedical and chemical engineering domains. The book is an introduction to this discipline. The first chapter presents a short historical background and discusses...

Springer, 2008. - 422 p. (Series in Integrated Circuits and Systems). Wafer Level 3-D ICs Process Technology focuses on foundry-based process technology that enables the fabrication of 3-D ICs. The core of the book discusses alternative technology platforms for pre-packaging wafer level 3-D ICs, with an emphasis on wafer-to-wafer stacking. Driven by the need for improved performance, a number of companies, consortia and universities are researchi...

Springer, 2010. 207 p ISBN:3540439668 Intended as an introduction and reference for materials scientists and physicists, this book treats the fundamental physics of piezoleletric sensors. It begins with the elements of phenomenological crystal physics to develop a fundamental understanding of piezoelectricity. Subsequently the constitutive equations for elastic and electric field quantities are discussed involving both linear and nonlinear mate...

Materials Science and Engineering R 56 (2007) 1–129 (Elsevier B.V. ) This paper provides a detailed overview of developments in transducer materials technology relating to their current and future applications in micro-scale devices. Recent advances in piezoelectric, magnetostrictive and shape-memory alloy systems are discussed and emerging transducer materials such as magnetic nanoparticles, expandable micro-spheres and conductive polymers are i...

Woodhead Publishing Limited, 2008, 810 pages Many recent advances in technology have been associated with nanotechnology and the miniaturization of components, devices and systems. Microjoining has been closely associated with the evolution of microelectronic packaging, but actually covers a much broader area, and is essential for manufacturing many electronic, precision and medical products. Part 1 reviews the basics of microjoining, includin...

Woodhead Publishing, 2008. 1088 p. ISBN:1845691865 This comprehensive volume covers the latest developments in advanced dielectric, piezoelectric, and ferroelectric materials. Divided into eight parts, it explores high strain high performance piezo- and ferroelectric single crystals, electric field-induced effects and domain engineering, morphotropic phase boundary-related phenomena, high power piezoelectric and microwave dielectric materials,...