degree
  • формат rtf
  • размер 83.81 МБ
  • добавлен 26 мая 2011 г.
Дипломная работа - Механизмы имплантации в металлы и сплавы ионов азота с энергией 1-10 кэВ
Автор, вуз, год написания неизвестны. 92с. Библ. 65 наим.
Содержание:
Введение Сравнительный анализ методов поверхностного модифицирования
Физические основы процесса ионной имплантации газов в металлы и сплавы
Основные характеристики метода ионной имплантации
Механизмы взаимодействия имплантируемых ионов с мишенью
Модель для расчета пробегов ионов в материале подложки
Ядерное торможение иона в материале
Электронное торможение иона в материале
Распределение примеси и дефектов в материале подложки в зависимости от энергии ионов азота
Остаточные концентрационные напряжения
Методики расчёта основных параметров физических процессов, происходящих при ионной имплантации
Методика расчета пробегов ионов методом Монте-Карло
Методика расчета распределения концентрации внедренных ионов по глубине материала
Методика расчёта остаточных концентрационных напряжений
Результаты расчёта параметров процессов взаимодействия имплантируемых ионов с материалом подложки
Экспериментальное оборудование
Установка для ионной имплантации азота в инструментальные материалы
Устройство системы электропитания имплантационной установки
Устройство датчика ионного тока
Заключение
Список литературы
Приложения
Программа ion_implantation, разработанная в среде BORLAND C++ для расчёта остаточных концентрационных напряжений в поверхностных слоях материала подложки после имплантации ионов азота
Результаты работы программы ion_implantation для стали р6м5
Похожие разделы
Смотрите также

Аксенов А.И., Носков Д.А. Процессы лазерной и электронно-ионной технологии

  • формат pdf
  • размер 1.08 МБ
  • добавлен 25 июля 2011 г.
Учебное пособие.Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлек- троники, 2007. - 110 с. В данном пособии описаны основные закономерности процессов взаимодействия электронов и ионов с твердым телом, приведены главные способы получения потоков электронов и ионов, а также варианты формирования и управления пучками заряженных частиц, вопросы разработки источников электронов и ионов, причем раздельно рассматриваются источники...

Браун Я. Физика и технология источников ионов

  • формат djvu
  • размер 3.89 МБ
  • добавлен 22 января 2010 г.
В коллективной монографии авторов из США, ФРГ, Великобретании, Бельгии, Японии и России рассмотрены вопросы физики плазмы применительно к ионным источникам, проблемы вытягивания, фокусировки и транспортировки ионов, методы компьютерного моделирования, сильноточные газовые источники, источники-инжекторы для ускорителей частиц, источники для электромагнитных разделителей изотопов и промышленных имплантеров, источники на основе электронного циклотро...

Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов

  • формат pdf
  • размер 5.37 МБ
  • добавлен 06 марта 2011 г.
Москва, Атомиздат, 1972, 304 с. В книге систематизированы сведения об устройстве, физических основах действия, свойствах и параметрах плазменных источников ионов - приборов, которые нашли широкое применение в различных областях науки и техники. Рассматриваются плазменные источники атомарных и молекулярных ионов водорода, многозарядных ионов, отрицательных ионов, ионов тугоплавких элементов, а также способы формирования ионных пучков, нейтрализаци...

Дороднов А.М., Кузнецов А.Н., Леонтьев С.В. Методика инженерно-физического расчета электродугового источника плазмы для процессов нанесения покрытий в вакууме

  • формат jpg
  • размер 25.04 МБ
  • добавлен 05 ноября 2011 г.
МГТУ им. Н.Э. Баумана 1999, 34 стр. Метод генерации плазмы катодными пятнами вакуумной дуги дает возможность получать сильно ионизованную плазму любых проводящих веществ. В отличив от процессов с тепловой природой (энергия частиц Е = кТ = 1 . 0,3 эВ, где к - константа Больцмана), в которых практически отсутствует ионизация рабочего вещества, в рассматриваемом методе генерируется практически полностью ионизованная плазма с аномально высокими энерг...

Леонтович М.А., Кадомцев Б.Б. (ред.) Вопросы теории плазмы (выпуск 12)

  • формат djv
  • размер 3.05 МБ
  • добавлен 19 октября 2009 г.
Вопросы теории плазмы. Сб. статей. Вып. 12 / Под ред. акад. М. А. Леонтовича и Б. Б. Кадомцева. М.: Энергоиздат, 1982, с. 272. Рассмотрен широкий круг вопросов, связанных в основном с проблемой многозарядных ионов в высокотемпературной термоядерной плазме. Представлены расчеты параметров многоразрядных ионов, а также процессов, происходящих при столкновении этих ионов с различными частицами плазмы. Излагаются физические аспекты взаимодействия вы...

Немов А.С. Исследование распыления и ионно-электронной эмиссии углеродных материалов при высокодозном облучении

Дисертация
  • формат pdf
  • размер 673.69 КБ
  • добавлен 14 июля 2011 г.
Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Москва. 2007 г. 23с. Специальность 01.04.04 – физическая электроника Работа выполнена в Лаборатории взаимодействия ионов с веществом Отдела физики атомного ядра Научно-исследовательского института ядерной физики Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова. и температурных зависимостей кинетической ионно-электронной эмиссии. Цели и задачи исс...

Никитинский В.А., Журавлев Б.И. Технологические источники ионов на основе контагированных разрядов

Статья
  • формат pdf
  • размер 115.98 КБ
  • добавлен 31 марта 2011 г.
Статья. Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2006, № 4, с. 55-58 Обеспечивается создание ускоренных пучков ионов с токами до 0,6 А и энергиями до 5 кэВ с равномерным распределением плотности тока ионов в поперечном сечении пучков площадью от 10~4 до 0,2 м2. Целью настоящей работы является оптимизация разрядной камеры с использованием специфических особенностей ДЭС (двойного электрического слоя).

Сивин Д.О. Формирование ленточных и псевдоленточных пучков ионов металлов и плазмы

Дисертация
  • формат pdf
  • размер 1.19 МБ
  • добавлен 27 мая 2011 г.
Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук 2010г. , 22с. Специальность 01.04.20 – физика пучков заряженных частиц и ускорительная техника Работа выполнена в ГОУ ВПО «Национальный исследовательский Томский политехнический университет» Научный руководитель: д. ф-м. н., проф. Рябчиков Александр Ильич Цель работы заключается в исследовании трансформации микрочастиц вакуумно-дугового разряда на поверхности мишени в...

Тарала В.А., Шевченко Е.Ф. Исследование газофазного осаждения пленок аморфного углерода с ионно-плазменной стимуляцией процесса

Статья
  • формат pdf
  • размер 221.83 КБ
  • добавлен 09 июня 2011 г.
Статья. Опубликована в Материалы XХХIХ научно-технической конференции по итогам работы профессорско-преподавательского состава СевКавГТУ за 2009 год. Том 1. Естественные и точные науки. Технические и прикладные науки. Ставрополь: СевКавГТУ, 2010. 2с. Прямое осаждение пленок непосредственно из пучков ионов является идеальным процессом, поскольку позволяет управлять энергией частиц осаждаемого материала [1,2]. Однако для реализации этого процесса т...

Zhang Huashun. Ion Sources

  • формат djvu
  • размер 9.63 МБ
  • добавлен 02 марта 2011 г.
Springer, Berlin, 1999, 476 c. Приведен обзор физических основ газовых разрядов, используемых для создания источников ионов. Книга содержит следующие разделы: 1) Основы газовых разрядов 2) Системы экстракции для ионных источников 3) Источники положительных ионов 4) Гигантские ионные источники 5) Источники многозарядных ионов 6) Масс- и энергетические спектры ионных источников 7) Источники отрицательных ионов 8) Самонейтрализация пучков пространст...