Ильин Р.Н., Карманенко С.Ф. Учебное пособие по курсу Физика электронных и ионных процессов

Санкт-Петербург, СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2002 - 80с Взаимодействие ионных потоков с твердым телом. Тормозная способность и пробег ионов. Торможение ионов и распыление твердотельной мишени. Торможение ионов и ионная имплантация. Метод резерфордовского обратного рассеяния (РОР). Исследование начальных стадий роста пленок методом РОР. Рентгеновское излучение, возбуждаемое ионами.