Санкт-Петербург, СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2002 - 80с
Взаимодействие ионных потоков с твердым телом.
Тормозная способность и пробег ионов.
Торможение ионов и распыление твердотельной мишени.
Торможение ионов и ионная имплантация.
Метод резерфордовского обратного рассеяния (РОР). Исследование
начальных стадий роста пленок методом РОР.
Рентгеновское излучение, возбуждаемое ионами.
