М.: Атомиздат, 1974. — 264 с.: ил.
Рассмотрены методы получения чистых металлов и сплавов, а также
покрытий из тугоплавких металлов путем осаждения из газовой фазы с
участием химической реакции (водородное восстановление и
термическое разложение легколетучих металлсодержащих соединений).
Изложены теоретические основы процессов, значительное внимание
уделено их аппаратурному оформлению.
Описываются свойства получаемых металлов, которые - находят широкое применение в современной технике. Рассматриваются возможности регулирования параметров процесса с целью получения материалов с заданным комплексом уникальных химических, механических и других свойств. Уделено внимание перспективам развития методов осаждения из газовой фазы и расширения применений этих методов. Предисловие.
Введение.
Некоторые вопросы теории химической кристаллизации
Термическое разложение карбонилов
Влияние электростатического поля.
Содержание углерода в покрытиях.
Проблема газа-носителя
Инертные газы-носители.
Химически активные газы-носители.
Получение металлических покрытий водородным восстановлением хлоридов металлов Получение сплавов
Техника эксперимента
Реакционная камера
Испаритель
Система очистки газов
Очистка газов от кислорода.
Очистка газов от окиси и двуокиси.
Очистка газов от водяных паров.
Дистилляция.
Система конденсирующих устройств
Нагрев образцов
Измерительный комплекс
Кинетика осаждения
Термическое разложение карбонилов тугоплавких металлов
Разложение карбон&м молибдена.
Разложение карбонила вольфрама.
Разложение карбонила рения.
Водородное восстановления хлоридов (Mo, W, Та, Nb)
Термическая диссоциация хлоридов.
Осаждение W, Mo, Nb, Ті, Zr, Hf.
Осаждение рения.
Осаждение иридия.
Водородное восстановление фторидов тугоплавких металлов
Осаждение вольфрама.
Осаждение рения.
Осаждение иридия.
Получение тугоплавких металлов из металлорганических соединений
Иридий.
Вольфрам.
Молибден.
Методы понижения температуры процесса кристаллизации из газовой фазы.
Высокочастотное поле Электронный удар.
Тлеющий разряд.
Влияние поверхности подложки на скорость осаждения металла
Некоторые свойства тугоплавких металлов и покрытий из них
Примеси в металлах, полученных кристаллизацией из газовой фазы
Механические свойства металлов
Влияние поверхностной пленки на механические свойства металлов
Прочность сцепления покрытий с основой
Типы сцепления.
Методы измерения прочности сцепления.
Термические напряжения.
Способы повышения прочности сцепления.
Проблема плотности
Плотность металлов.
Рост кристаллов.
Микроструктура.
Текстуры в тугоплавких металлах и сплавах
Получение текстурированных слоев металлов.
Текстуры в сплавах тугоплавких металлов.
Механизмы образования текстур.
Высокотемпературная стабильность текстур тугоплавких металлов.
Высокотемпературная стабильность микроструктуры.
Эмиссионные характеристики осажденных металлов
Получение сплавов
Получение сплавов при разложении карбонилов и при водородном восстановлении хлоридов металлов.
Получение вольфрам-рениевых сплавов при водородном восстановлении WF6 и ReF6.
Получение тантал-алюминиевых сплавов.
Кристаллизация тройных вольфрам-молибден-рениевых сплавов.
Список литературы
Описываются свойства получаемых металлов, которые - находят широкое применение в современной технике. Рассматриваются возможности регулирования параметров процесса с целью получения материалов с заданным комплексом уникальных химических, механических и других свойств. Уделено внимание перспективам развития методов осаждения из газовой фазы и расширения применений этих методов. Предисловие.
Введение.
Некоторые вопросы теории химической кристаллизации
Термическое разложение карбонилов
Влияние электростатического поля.
Содержание углерода в покрытиях.
Проблема газа-носителя
Инертные газы-носители.
Химически активные газы-носители.
Получение металлических покрытий водородным восстановлением хлоридов металлов Получение сплавов
Техника эксперимента
Реакционная камера
Испаритель
Система очистки газов
Очистка газов от кислорода.
Очистка газов от окиси и двуокиси.
Очистка газов от водяных паров.
Дистилляция.
Система конденсирующих устройств
Нагрев образцов
Измерительный комплекс
Кинетика осаждения
Термическое разложение карбонилов тугоплавких металлов
Разложение карбон&м молибдена.
Разложение карбонила вольфрама.
Разложение карбонила рения.
Водородное восстановления хлоридов (Mo, W, Та, Nb)
Термическая диссоциация хлоридов.
Осаждение W, Mo, Nb, Ті, Zr, Hf.
Осаждение рения.
Осаждение иридия.
Водородное восстановление фторидов тугоплавких металлов
Осаждение вольфрама.
Осаждение рения.
Осаждение иридия.
Получение тугоплавких металлов из металлорганических соединений
Иридий.
Вольфрам.
Молибден.
Методы понижения температуры процесса кристаллизации из газовой фазы.
Высокочастотное поле Электронный удар.
Тлеющий разряд.
Влияние поверхности подложки на скорость осаждения металла
Некоторые свойства тугоплавких металлов и покрытий из них
Примеси в металлах, полученных кристаллизацией из газовой фазы
Механические свойства металлов
Влияние поверхностной пленки на механические свойства металлов
Прочность сцепления покрытий с основой
Типы сцепления.
Методы измерения прочности сцепления.
Термические напряжения.
Способы повышения прочности сцепления.
Проблема плотности
Плотность металлов.
Рост кристаллов.
Микроструктура.
Текстуры в тугоплавких металлах и сплавах
Получение текстурированных слоев металлов.
Текстуры в сплавах тугоплавких металлов.
Механизмы образования текстур.
Высокотемпературная стабильность текстур тугоплавких металлов.
Высокотемпературная стабильность микроструктуры.
Эмиссионные характеристики осажденных металлов
Получение сплавов
Получение сплавов при разложении карбонилов и при водородном восстановлении хлоридов металлов.
Получение вольфрам-рениевых сплавов при водородном восстановлении WF6 и ReF6.
Получение тантал-алюминиевых сплавов.
Кристаллизация тройных вольфрам-молибден-рениевых сплавов.
Список литературы