Препринт НИИЭФА П-0998, СПб.: ФГУП НИИЭФА им. Д.В. Ефремова, 2009,
55 с.
Приведены краткий обзор современного состояния проблемы, методика
расчёта и описание конструкции модульного 30/60/90
электромагнитного фильтра для вакуумно-дуговых источников плазмы, а
также экспериментальные результаты исследования параметров системы
источник – фильтр. Включены также некоторые результаты исследования
работы катодно-дуговых источников с магнитной стабилизацией
дугового разряда. Представлены примеры исследовательских и
промышленных установок.
Карпов Д.Ф. и др. Снижение содержания макрофракций в вакуумно-дуговом осаждении покрытий
- формат pdf
- размер 6,74 МБ
- добавлен 20 февраля 2015 г.
