Лобанов Д.Н., Новиков А.В., Красильник З.Ф. Метод молекулярно - пучковой эпитаксии и его применение для формирования SiGe наноструктур

Учебно-методический материал по программе повышения квалификации «Новые материалы электроники и оптоэлектроники для информационно-телекомуникационных систем». - Нижний Новгород, ННГУ, 2006. - 83 с. Проанализированы и обобщены результаты современных исследований, посвященных изучению свойств наноструктур на основе полупроводниковых (Si, Ge) включений в оксидных материалах. Наибольшее внимание уделено процессам формирования нанокластеров и нанокри...

М., Техносфера, 2006 г. , 200 стр. В монографии проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ, CVD), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микро- и наноструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параме...

Монография. - Тверь, ТГТУ, 2010. - 188 с. Исследуются основные направления развития нанотехнологии в области создания наноматериалов методом химического газофазного осаждения металлоорганических соединений и углеводородов. Представлены результаты изучения термодинамики процессов получения наноструктур, молекулярно-кинетической модели формирования наноразмерных пленок, обоснование выбора исходных реагентов, технологических режимов, оборудования д...

Курс лекций. - Москва, МИСиС, 2008. - 191 с. В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра - Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменн...

Электронное методическое пособие. - Нижний Новгород, ННГУ, 2010. - 17 с. В настоящее время на основе полупроводниковых гетероструктур создаются разного рода низкоразмерные системы (квантовые ямы, нити и точки), в которых наряду с изменением физических свойств объектов возникают новые физические эффекты, связанные с пространственным ограничением движения носителей заряда. На основе гетероструктур были созданы и теперь уже являются коммерчески дос...

Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2007. - 49 с. Рассматриваются процессы изготовления наноструктур различных размерностей. В первой части рассмотрены методы выращивания 2D- наноструктур (нанослоев), 1D-наноструктур (нанонитей) и 0D- наноструктур (наночастиц) с помощью молекулярно лучевой эпитаксии (МЛЭ). Для студентов специальности «Проектирование и технология радиоэлектронных средств».

Методическое пособие для студентов 5-6 курса МГТУ им. Н. Э. Баумана. Рукопись (не издавалось), 47 стр. Рассмотрены процессы самоорганизации двухмерных наноструктур (нанослоев), одномерных наноструктур (нанонитей) и нульмерных наноструктур (наночастиц), входящих в состав нанотехнических радиоэлектронных средств (РЭС). Приведены основные понятия и процедуры, необходимые для теоретического и экспериментального изучения процессов самоорганизации нан...

М., Техносфера, 2006 г. , 150 стр. В книге приведены мировые новости за 2005 год, сгруппированные по разделам и охватывающие наноматериалы, наноэлектронику, нанодатчики и наноустройства, диагностику наноструктур и наноматериалов, нанобиотехнологию и применение нанотехнологий в медицине. В книге с цветными иллюстрациями приведены примеры реализации и применения в области технологии формирования наноструктур, методов исследования наноматериалов, ме...

2006. - 143 с. Приведены мировые новости за 2005 год, сгруппированные по разделам и охватывающие наноматериалы, наноэлектронику, нанодатчики и наноустройства, диагностику наноструктур и наноматериалов, нанобиотехнологию и применение нанотехнологий в медицине. В книге приведены примеры реализации и применения с цветными иллюстрациями в области технологии формирования наноструктур, методов исследования наноматериалов, метрологическое обеспечение и...

М., Техносфера, 2006 г. , 150 стр. В книге приведены мировые новости за 2005 год, сгруппированные по разделам и охватывающие наноматериалы, наноэлектронику, нанодатчики и наноустройства, диагностику наноструктур и наноматериалов, нанобиотехнологию и применение нанотехнологий в медицине. В книге с цветными иллюстрациями приведены примеры реализации и применения в области технологии формирования наноструктур, методов исследования наноматериалов,...