Минайчев В.Е. Вакуумные крионасосы

формат djvu
размер 3.89 МБ
добавлен 14 января 2011 г.

М.: «Энергия», 1976. - 152 с.: ил.
В книге излагаются физические представления о процессе криоконденсационной откачки. Рассматриваются принципы действия, способы охлаждения, характеристики и параметры крионасосов. Большое внимание уделено вопросам конструирования и основам расчета крионасосов.
Книга представляет интерес для широкого круга инженеров и научных работников, специализирующихся в области вакуумной техники и смежных с ней областях.

Смотрите также

Данилин Б.С. Вакуумные насосы и агрегаты

формат djvu
размер 1.81 МБ
добавлен 17 февраля 2010 г.

Под ред. Нилендера Р. А. – М.: Госэнергоиздат, 1957. – 112 стр.: ил. В книги приводится описание принципов работы и конструктивного оформления вращательных и пароструйных металлических вакуумных насосов и вакуумных агрегатов отечественного производства с указанием ряда их эксплуатационных данных. Книга рассчитана на лиц, занимающихся выбором, монтажом и эксплуатацией вакуумного оборудования; она может служить также учебным пособием для студентов...

Данилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники

формат pdf
размер 3.18 МБ
добавлен 13 января 2011 г.

М.: Машиностроение, 1987. – 72 с.: ил. Под ред. В. К. Сырчина. В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставл...

Данилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники

формат djvu
размер 1005.12 КБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М.: Машиностроение, 1987. 72 с. В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды насосов.

Е.С. Фролов и др. Вакуумные системы и их элементы. Справочник-атлас

формат djvu
размер 9.72 МБ
добавлен 15 января 2010 г.

Е. С. Фролов и др. Вакуумные системы и их элементы (Атлас-справочник). - М., "Машиностроение", 1968 г. - 200 стр. Под ред. В. Д. Лубенца. В данном справочнике - атласе приведены физико - механические характеристики материалов (металлов и неметаллов), применяемых для изготовления вакуумных систем а также кратко рассмотрены вопросы вакуумной сварки и пайки. Даны примеры конструкций и нормализованные ряды сильфонов, фланцевых соединений, вакуумных...

Кеменов В.Н., Нестеров С.Б. Вакуумная техника и технология

формат pdf
размер 962.06 КБ
добавлен 06 апреля 2009 г.

М.: Издательство МЭИ, 2002. – 84 стр. Представлено описание основных областей применения вакуумной техники и технологии и дана краткая история развития вакуумной техники в России. Для студентов ИТТФ, ЭТФ МЭИ (ТУ) и МИЭМ (ТУ), обучающихся по специальностям «Техника и физика низких температур» и «Электронное машиностроение». История развития средств откачки в россии. Вакуумные технологии в металлургии. Вакуумные технологии в химии, нефтехимии и х...

Конев С.А. Вакуумная техника

формат doc
размер 642.79 КБ
добавлен 12 февраля 2011 г.

1997 г. - 20 с.: ил. Механические вакуумные насосы. Определение быстроты действия насосов. - Метод постоянного давления. - Метод постоянного объема. - Метод капилляра. Эжекторные вакуумные насосы. Высоковакуумные пароструйные насосы. Молекулярные насосы. Турбомолекулярные насосы. Адсорбционные насосы. Измерение давлений. - Механические манометры. Манометр Бурдона. - Жидкостные манометры. - Компрессионные манометры. Манометр Мак-Леода. - Те...

Курсовая работа - Особенности образования структур при вакуумном напылении

Курсовая работа

формат pdf
размер 1.43 МБ
добавлен 26 марта 2011 г.

Московский государственный институт радиоэлектроники, электроники и автоматики Дисциплина - Вакуумные плазменные технологические устройства М. : 2002г. , 30 стр.

Минайчев В.Е. Вакуумное оборудование для нанесения пленок

формат djvu
размер 898.2 КБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М.: Машиностроение, 1978, 60 с. Кратко рассмотрены вакуумные технологические методы получения тонких пленок, которые находят все большее применение в различных областях науки и техники, а также некоторые прикладные вопросы вакуумной техники. Приведены классификация и технические данные. Описаны наиболее типичные испарительно-распылительные системы и установки для нанесения тонких пленок. Даны практические рекомендации по использованию оборудовани...

Рот А. Вакуумные уплотнения

формат djvu
размер 18.85 МБ
добавлен 11 июня 2009 г.

Пер. с англ. М., Энергия, 1971 г. Книга представляет собой наиболее полное справочное пособие, охватывающее различные технические приемы, используемые для создания вакуумных уплотнений. В ней описываются основные вакуумные уплотнения (сварные, паяные, спаи стекло-стекло, стекло-металл, стекло-керамика, керамика-металл, замазки, пластмассы, уплотнения на основе хлорного серебра, жидкостные уплотнения, эластомеры и уплотнения с металлическими прокл...

Chambres A., Fitch R.K., Halliday B.S. Basic Vacuum Technology

формат pdf
размер 89.58 МБ
добавлен 13 марта 2011 г.

IOP, Institute of Physics Publishing, Bristol and Philadelphia, 1998, 189 c. Книга представляет собой курс лекций по вакуумной технике (University of Strathclyde, UK). Содержит следующие разделы: Газы Газы в вакуумных системах Насосы Измерение давления Вакуумные материалы и компоненты Очистка Течи и их поиск Системы